[发明专利]显影装置和电路基板的制造方法

权利要求书

1.一种电路基板的制造方法，依次经过将具有形成了潜像的涂膜的基材大致水平地搬运并将显影液散布至所述基材上的显影工序、散布清洗液对显影液进行稀释的清洗工序、以及除去液体成分的干燥工序，并且在所述显影工序中利用复数个散液喷嘴朝向上游侧散布显影液，所述制造方法中，

在设所述基材的搬运方向为X方向、铅直方向为Z方向、机宽方向为Y方向时，从所述散液喷嘴散布的显影液的散布方向O’沿所述Y方向投影在XZ平面上的直线O’XZ与所述X方向所形成的锐角侧的角度α’为45°以上85°以下，连结所述散液喷嘴的一系列散液孔的直线P’与所述X方向所形成的锐角侧的角度β’为45°以上80°以下。

2.如权利要求1所述的电路基板的制造方法，其中，所述直线O’沿所述X轴方向投影在ZY平面上的直线O’ZY与所述Y方向所形成的锐角侧的角度γ’为60°以上且小于90°。

3.如权利要求1或2所述的电路基板的制造方法，其中，所述显影液的散液部的长径R’XY与所述X方向所形成的锐角侧的角度λ为5°以上且小于90°。

4.如权利要求1～3中任一项所述的电路基板的制造方法，其中，所述基材为膜，在设该膜的搬运方向的长度为A、将所述复数个喷嘴的散液孔的重心彼此连结的X方向的最大宽度为B时，满足1<A/B的关系。

5.如权利要求1～3中任一项所述的电路基板的制造方法，其中，将所述基材以辊对辊方式进行搬运。

6.如权利要求1～5中任一项所述的电路基板的制造方法，其中，每个所述散液喷嘴的显影液的散液量为0.2L/分钟～5L/分钟。

7.如权利要求1～6中任一项所述的电路基板的制造方法，其中，将所述基材进行搬运的速度为0.5m/分钟～7m/分钟。

8.如权利要求1～7中任一项所述的电路基板的制造方法，其中，所述显影液为碱性显影液，所述涂膜是将负型感光性树脂组合物通过曝光在涂布膜上实施图案形成而成的。

9.如权利要求8所述的电路基板的制造方法，其中，所述负型感光性树脂组合物含有(a)导电性颗粒、(b)具有羧基的感光性化合物、以及(c)光聚合引发剂。

10.一种显影装置，其是具有形成了潜像的涂膜的基材的显影装置，依次具有：具有大致水平的搬运面的基材的搬运单元、从该搬运单元的上游侧将显影液散布至所述基材上的显影单元、散布清洗液对显影液进行稀释的清洗单元、以及除去液体成分的干燥单元，并且将作为所述显影单元的具有复数个散液喷嘴的显影液的供给管按照供给管的轴向大致平行于该搬运面的方式配置在搬运面的上侧，所述显影装置中，

所述散液喷嘴的开孔面朝向上游侧，在设所述基材的搬运方向为X方向、铅直方向为Z方向、机宽方向为Y方向时，垂直于所述散液喷嘴的开孔面的方向的直线O沿所述Y方向投影在XZ平面上的直线OXZ与所述X方向所形成的锐角侧的角度α为45°以上85°以下，平行于所述供给管的直线P与所述X方向所形成的锐角侧的角度β为45°以上80°以下。

11.如权利要求10所述的显影装置，其中，所述直线O沿所述X轴方向投影在ZY平面上的直线OZY与所述Y方向所形成的锐角侧的角度γ为60°以上且小于90°。

12.如权利要求10或11所述的显影装置，其中，所述喷嘴的散液孔为椭圆形，该散液孔的长径R沿所述Z方向投影在XY平面上的直线RXY与所述X方向所形成的锐角侧的角度λ为5°～90°。

13.如权利要求10～12中任一项所述的显影装置，其中，具备在所述显影单元的上游的卷出辊、以及在干燥单元的下游的卷取辊。