[发明专利]待分裂固体的组合的激光处理

权利要求书

1.一种用于将至少一个固体层(14)与固体(1)分离的方法，

其中通过改性部(2)预设剥离平面(4)，所述剥离平面用于引导裂纹以将固体部分(6)即固体层与所述固体(1)分离，

所述方法至少包括如下步骤：

将所述固体(1)相对于激光加载装置(8)移动，

借助所述激光加载装置(8)依次产生激光束(10)，以分别产生至少一个改性部(2)，

其中所述激光束经由待从所述固体分离的固体层的表面进入到所述固体中，

其中调节所述激光加载装置(8)，以根据至少一个参数来限定地产生改性部，其中通过调节所述激光加载装置(8)来平衡所述固体在被加载的表面的区域中和/或在所述固体的被加载的体积的区域中的不均匀性，

将所述固体层(14)沿着所述剥离平面与所述固体(1)分离，

其中所述改性部引起所述固体中的压力升高，和所述固体层由于压力升高而沿着所述剥离平面通过裂纹扩展与所述固体分离。

2.根据权利要求1所述的方法，

其特征在于，

在数据存储装置中提供关于一个参数或多个参数的数据，并且所述数据至少在产生所述改性部(2)之前被输送给控制装置，其中所述控制装置根据待产生的改性部(2)的相应的地点来调节所述激光加载装置(8)，

和/或

用于产生改性部(2)的激光束(10)在具有低透射的区域中比在具有高透射的区域中具有更多能量，其中所述激光加载装置(8)具有用于调节激光束能量的机构。

3.根据权利要求1或2所述的方法，

其特征在于，

在产生所述改性部(2)之后热处理所述固体(1)，并且由于热处理，所述固体层(14)从所述固体(1)沿着所述剥离平面(4)剥离，或

在所述固体(1)处设置或产生应力产生层(18)。

4.根据权利要求1所述方法，

其特征在于，

所述参数是所述固体在限定的位置处的且对于限定的固体深度的透射。

5.根据权利要求2所述的方法，

其特征在于，

所述机构是声光调制器。

6.根据权利要求3所述的方法，

其特征在于，

在产生所述改性部(2)之后冷却所述固体(1)。

7.根据权利要求3所述的方法，

其特征在于，

所述应力产生层是聚合物层。

8.根据权利要求7所述的方法，

其特征在于，

在待分离的所述固体层(14)的表面处设置或产生所述聚合物层，其中热处理所述聚合物层，其中所述聚合物层凭借热处理而经受其强度的变化，由此由于所述聚合物层的强度变化而在所述固体(1)中产生机械应力。

9.根据权利要求8所述的方法，

其特征在于，

冷却所述聚合物层。

10.根据权利要求1所述的方法，

其特征在于，

参数是所述固体在预设的地点处或在预设的区域中的掺杂度。

11.根据权利要求1所述的方法，

其特征在于，

参数是所述固体在所述固体的内部中的掺杂度。

12.根据权利要求10所述的方法，

其特征在于，

所述地点或区域与所述固体表面间隔开。

13.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，

通过分析具有非弹性的散射的背散射的光确定所述掺杂度，其中所述背散射的光具有与为了触发背散射而限定地射入的光不同的波长或不同的波长范围，其中所述背散射的光从预先限定的地点起或从预定的区域起发生背散射。