[发明专利]显示面板、显示装置和显示面板的制造方法

说明书

本发明不扩大配线的线宽就使配线电阻下降，从而抑制配线延迟。包括遮光膜(102)、光透射膜(106)和第一配线层(105A)，该第一配线层为用于对像素的光的透射量进行电控制的配线的一部分，第一配线层(105A)设置在遮光膜(102)之上，光透射膜(106)以覆盖上述第一配线层的侧面的方式设置在第一配线层(105A)的上层。

技术领域

本发明涉及显示面板、显示装置和显示面板的制造方法。

背景技术

已知利用了机械地开闭的MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微电子机械系统)快门的显示装置(以下，称MEMS显示器)。

作为这样的MEMS显示器的一例，专利文献1中记载了具有按每个像素设置MEMS快门的MEMS基板和背光源的MEMS显示器。

专利文献1的MEMS显示器的MEMS基板从背光源侧起依次设置有：透明基板；具有遮光性并且具有与像素对应的开口部的隙孔层(aperture layer)；以填埋隙孔层的开口部的方式覆盖隙孔层的透明的第一电介质层；和构成对快门的开闭进行控制的晶体管的栅极线的第一导体层。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-43856号公报(2011年3月3日公开)

发明内容

发明要解决的技术问题

如专利文献1中记载的那样的以往的MEMS显示器在大型化的情况下，用于快门开闭的控制信号有可能发生延迟，损害显示品质。

因此，为了抑制控制信号的延迟，可以考虑通过增大构成晶体管的栅极等的配线的配线层的厚度，来降低配线电阻。

可是，当增大配线层的厚度时，楔形部分的宽度变大，产生布局上的问题。另一方面，在增大楔角的情况下，蒸镀在配线层上的栅极绝缘膜对配线层的侧面(楔面)的覆盖性降低，其结果是，配线层的侧面的一部分露出而使配线层发生氧化。因此，不扩大配线的线宽而增厚配线的厚度来降低电阻变得困难。

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于，提供一种不扩大配线的线宽就能使配线电阻降低从而抑制配线延迟的显示面板、显示装置和显示面板的制造方法。

解决技术问题的技术手段

为了解决上述的技术问题，本发明的一个方式的显示面板是按每个像素具有机械地开闭的快门机构，通过控制上述快门机构来按每个像素使光透射或遮蔽光的显示面板，该显示面板包括：以具有开口部的方式设置在基板上的遮光膜；填埋上述开口部来进行平坦化的光透射膜；和第一配线层，该第一配线层为用于对上述开门机构的开闭进行电控制的配线的一部分，上述第一配线层设置在上述遮光膜之上，上述光透射膜以覆盖上述第一配线层的侧面的方式设置在上述遮光膜之上。

此外，为了解决上述技术问题，本发明的一个方式的显示面板的制造方法是按每个像素具有机械地开闭的快门机构，通过控制上述快门机构按每个像素使光透射或遮蔽光的显示面板的制造方法，该制造方法包括：在基板之上以具有开口部的方式形成遮光膜的工序；在上述遮光膜之上形成第一配线层的工序，该第一配线层为用于对上述快门机构的开闭进行电控制的配线的一部分；和以覆盖上述第一配线层的侧面并且填埋上述开口部而进行平坦化的方式在上述遮光膜之上形成光透射膜的工序。

发明效果

根据本发明的一个方式，能够提供不扩大配线的线宽就能抑制配线延迟的显示面板和上述显示面板的制造方法。

附图说明

图1是示出本发明的实施方式1的MEMS显示器的结构的概略图。

图2是示出MEMS显示器的像素结构的电路图。