[发明专利]流量控制设备、流量控制设备的流量校正方法、流量测定设备及使用流量测定设备的流量测定方法

说明书

本发明提供一种流量控制设备的校正方法，其基于与由流量基准器测量的流量的比较进行流量校正，针对多个流量设定而设定规定容许误差范围，将多个流量设定的中的至少一个特定流量设定的容许误差范围，设定为小于规定容许误差范围。

技术领域

本发明涉及一种流量控制设备、流量控制设备的流量校正方法、流量测定设备及使用流量测定设备的流量测定方法。

背景技术

设置于半导体制造装置等的气体供给系统，通常以如下方式构成：将多种气体通过设置于各供给气体种类的每个的流量控制设备，将气体切换并供给到处理腔室等气体使用对象。

作为流量控制设备，使用被校正为规定精度的压力式流量控制装置或热式流量控制装置(MFC)，对气体流量进行控制。

在此，流量控制设备相对于按各厂商规定的基准流量以「设置点(S.P.)○○％」(相对于流量设定，误差可以控制在±○○％以内的流量)、「满量程(F.S.)○○％」(相对于流量设定，误差可以控制在最大流量的±○○％以内的流量)的方式决定精度。

另外，在上述各流量控制设备的运用中，期待随时进行流量精度的确认或流量校正，压力上升率(ROR：Rate of Rise)法有时作为流量测量方法被用于流量精度的确认或流量校正。

在ROR法中，使气体流入设置于流量控制设备的下游的规定的基准容量(V)，通过测定此时的压力上升率(ΔP/Δt)和温度(T)，例如根据Q＝(ΔP/Δt)×V/RT(R为气体常数)而计算流量Q。

在专利文献1中，记载有基于ROR法的流量测量方法的一例。在专利文献1记载的气体供给装置中，将从与各气体供给线路连接的流量控制设备下游侧的开关阀至设置于共用气体供给路的开关阀为止的流路作为基准容量使用，基于该流路中的压力上升率对流量进行测量。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2006-337346号公报(专利第4648098号)

然而，由于在ROR法中使用的基准容量的体积根据配管的设计或制作公差等而有所不同，因此需要使用设定于每个气体供给系统的流量校正完毕的流量控制设备的流量设定而算出基准容量的体积。但是，即使是流量校正完毕的流量控制设备，由于设定于流量控制设备的流量设定与接受上述流量设定而被控制的控制流量也存在规定的容许范围的误差，因此导致基准容量的体积包含流量控制设备的上述规定的容许误差。即，由于流量Q的表达式中使用的上述基准容积的体积包含上述误差，因此结果上存在无法正确进行流量测量的课题。

上述流量设定与上述控制流量的规定的容许范围的误差虽可以通过反复进行校正而减小，但考虑到校正所需时间和成本不切实际。

发明内容

本发明是鉴于上述课题而完成的，其主要目的在于提供一种能够以较短时间，抑制成本，并且用于实现使用流量测定设备的高精度的流量测定方法的流量控制设备的流量校正方法。

根据本发明的实施方式的流量控制设备的校正方法，是基于与由流量基准器测量的流量的比较进行流量校正的流量控制设备的校正方法，针对多个流量设定而设定规定容许误差范围，将所述多个流量设定的中的至少一个特定流量设定的容许误差范围，设定为小于所述规定容许误差范围。

根据本发明的实施方式的流量控制设备，是利用所述流量校正方法而被校正的流量控制设备。

某一实施方式中，所述流量控制设备具有存储装置，所述存储装置中存储有识别所述至少一个特定流量设定的信息。

某一实施方式中，所述流量控制设备用于测定与所述流量控制设备的下游侧连接的基准容量的体积。