[发明专利]用于高温处理的腔室衬垫

权利要求书

1.一种腔室衬垫，包括：

环状底部部分，所述环状底部部分限定在所述环状底部部分中的中央区域中的开口；及

侧壁部分，所述侧壁部分自所述环状底部部分延伸，所述侧壁部分具有：

第一内表面，所述第一内表面相邻于所述环状底部部分且具有第一直径；

第二内表面，所述第二内表面具有第二直径，其中所述第二直径小于所述第一直径；

锥状内表面，所述锥状内表面在所述第一内表面与所述第二内表面之间延伸，其中所述锥状内表面具有自所述第一内表面向内至所述第二内表面的角度；及

第一外表面和第二外表面，其中所述第二外表面限定所述侧壁部分的顶表面，且所述侧壁部分的所述顶表面具有角度并从所述第二内表面向所述第一外表面不间断地延伸。

2.如权利要求1所述的腔室衬垫，其中所述环状底部部分及所述侧壁部分进一步包括石英材料、Al₂O₃材料、陶瓷涂覆的铝材料、不锈钢材料、或上述材料的组合及混合物。

3.如权利要求1所述的腔室衬垫，其中所述侧壁部分具有凹口，所述凹口设置于所述第一外表面内。

4.如权利要求3所述的腔室衬垫，其中所述第二外表面具有向内朝向所述中央区域中的所述开口的角度。

5.如权利要求3所述的腔室衬垫，其中所述第二外表面具有以相对于由所述环状底部部分限定的水平面30度与75度之间的角度向内的角度，且其中所述第二外表面实质平行于所述侧壁部分的所述锥状内表面而具有角度。

6.如权利要求1所述的腔室衬垫，其中所述第一内表面及所述第二内表面相对于由所述环状底部部分限定的水平面实质垂直。

7.一种腔室衬垫，包括：

环状底部部分，所述环状底部部分限定在所述环状底部部分中的中央区域中的开口；及

侧壁部分，所述侧壁部分自所述环状底部部分延伸，所述侧壁部分具有：

第一内表面，所述第一内表面相邻于所述环状底部部分且具有第一直径；

第二内表面，所述第二内表面具有第二直径，其中所述第二直径小于所述第一直径，其中所述第一内表面设置在所述第二内表面和所述环状底部部分之间；

锥状内表面，所述锥状内表面在所述第一内表面与所述第二内表面之间延伸，其中所述锥状内表面具有以相对于由所述环状底部部分限定的水平面45度与75度之间的角度自所述第一内表面向内至所述第二内表面的角度；及

第一外表面和第二外表面，其中所述第二外表面限定所述侧壁部分的顶表面，且所述侧壁部分的所述顶表面具有角度并从所述第二内表面向所述第一外表面不间断地延伸。

8.如权利要求7所述的腔室衬垫，其中所述环状底部部分及所述侧壁部分进一步包括石英材料、Al₂O₃材料、陶瓷涂覆的铝材料、不锈钢材料、或上述材料的组合及混合物。

9.如权利要求7所述的腔室衬垫，其中所述侧壁部分具有凹口，所述凹口设置于所述第一外表面内。

10.如权利要求9所述的腔室衬垫，其中所述第二外表面具有以相对于由所述环状底部部分限定的水平面30度与75度之间的角度从所述第二内表面至所述第一外表面向下的角度，且其中所述第二外表面实质平行于所述侧壁部分的所述锥状内表面而具有角度。

11.如权利要求9所述的腔室衬垫，其中所述第一内表面及所述第二内表面相对于由所述环状底部部分限定的水平面实质垂直，且其中所述第二外表面具有向内朝向所述中央区域中的所述开口的角度。