[发明专利]金属氧化膜

权利要求书

1.一种制备金属氧化膜的方法，包括：

提供含有金属络合物的前体溶液或分散液；

在有水的情况下，将所述前体溶液喷射在加热基底上，以在所述基底上沉积材料；以及

对所述沉积材料进行干燥，以制备所述金属氧化膜。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述前体溶液是水溶液。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述前体溶液的浓度高达0.1M。

4.根据权利要求1、2或3中任一项所述的方法，其特征在于，所述金属氧化膜包括或基本上由氧化金属(IV)薄膜(MO₂，其中，M是金属)组成，或所述金属氧化膜包括或基本上由氧化金属(III)薄膜(M₂O₃，其中，M是金属)组成。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的方法，其特征在于，所述金属是钒、钼、钨、锗或锰。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述金属是钒，所述金属络合物是乙酰丙酮氧钒，或所述金属是钒，所述金属络合物是草酸氧钒。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述金属是钼，所述金属络合物是乙酰丙酮氧钼，或所述金属是钼，所述金属络合物是草酸氧钼或合适的钼(IV)络合物。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的方法，其特征在于，所述金属络合物中所述金属的氧化态可以与所述金属氧化膜中所述金属的氧化态相同。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的方法，其特征在于，所述前体溶液进一步包括一种或以上金属作为掺杂剂。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，将含有所述掺杂剂的所述前体溶液供应到喷嘴并喷射到所述加热基底上；和/或将所述掺杂剂与含有所述金属络合物的所述前体溶液或所述掺杂剂的分散液分别供应到喷嘴，并在喷射之前立刻在所述喷嘴处将所述掺杂剂和含有所述金属络合物的所述前体溶液或分散液混合在一起；和/或包含所述掺杂剂的一个或以上溶液或分散液从含有所述金属络合物的所述前体溶液或分散液中，自一个或以上的不同喷嘴喷出来，以使所述溶液或分散液喷射在所述基底上时混合在一起。

11.根据权利要求1-10中任一项所述的方法，其特征在于，将所述前体溶液或分散液在受控的和/或被保护的和/或惰性气氛中喷射到所述加热基底上。

12.根据权利要求1-11中任一项所述的方法，其特征在于，将所述前体溶液或分散液在载气的辅助下喷射到所述加热基底上。

13.根据权利要求1-12中任一项所述的方法，其特征在于，将所述前体溶液以高达5ml/min的速率喷射到所述加热基底上。

14.根据权利要求12或当从属于权利要求12时的权利要求13，所述的方法，其特征在于，所述载气以高达60ml/min的速率喷射。

15.根据权利要求1-14中任一项所述的方法，其特征在于，将所述基底加热到至少150℃、至少175℃、至少300℃、至少400℃、至少450℃和/或高达550℃的温度。

16.根据权利要求1-15中任一项所述的方法，其特征在于，干燥所述沉积材料包括将所述基底在预设干燥时间内保持在预设干燥温度下。

17.根据权利要求16所述的方法，其特征在于，所述预设干燥温度至少为150℃、至少为175℃、至少为300℃、至少为400℃、至少为450℃和/或高达550℃。