[发明专利]热电转换元件以及热电转换元件的制造方法有效
申请号: | 201780020239.7 | 申请日: | 2017-01-18 |
公开(公告)号: | CN108886083B | 公开(公告)日: | 2022-05-10 |
发明(设计)人: | 近川修 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H01L35/32 | 分类号: | H01L35/32;H01L35/22;H01L35/34;H02N11/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 俞丹;宋俊寅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 热电 转换 元件 以及 制造 方法 | ||
1.一种热电转换元件,其特征在于,
具备层叠体,该层叠体具有多个第一热电转换部、多个第二热电转换部和绝缘体层,
所述第一热电转换部和所述第二热电转换部在一个方向上交替排列进行接合,
所述第一热电转换部和所述第二热电转换部的接合面的一部分区域中,所述第一热电转换部和所述第二热电转换部直接接合,在所述接合面的其它区域中,所述第一热电转换部和所述第二热电转换部之间隔着所述绝缘体层进行接合,
所述层叠体具有位于所述一个方向的两端的第一主面和第二主面、以及位于和所述一个方向垂直的方向的两端的端面,
所述绝缘体层覆盖所述第二热电转换部的端面,
所述第一热电转换部延伸到所述层叠体的端面。
2.如权利要求1所述的热电转换元件,其特征在于,
还包括电极,该电极分别设于所述层叠体的所述第一主面和所述第二主面,
所述电极被设为从所述一个方向俯视时,穿过将所述层叠体的相向的一对所述端面加以连接的线段的中心且与所述层叠体的端面中的至少一方端面平行的假想线、以及穿过所述电极的中心且与所述至少一方端面平行的假想线位于不同的位置。
3.如权利要求2所述的热电转换元件,其特征在于,
还包括电极保护构件,该电极保护构件覆盖所述电极的周边。
4.如权利要求1至3中任一项所述的热电转换元件,其特征在于,
在所述绝缘体层的端面形成有凹部,该凹部从所述第一热电转换部的和所述一个方向垂直的方向上的端面朝向与该层叠体的端面相向的端面凹陷。
5.如权利要求4所述的热电转换元件,其特征在于,
从所述第一热电转换部的和所述一个方向正交的方向上的端面到所述绝缘体层的和所述一个方向正交的方向上的端面为止的距离为10μm以下。
6.如权利要求1至3中任一项所述的热电转换元件,其特征在于,
所述第一热电转换部为氧化物半导体,
所述第二热电转换部为包含金属的半导体,
所述绝缘体层为氧化物绝缘体。
7.如权利要求6所述的热电转换元件,其特征在于,
所述氧化物半导体是包含复合氧化物的N型半导体,
所述包含金属的半导体是包含Ni、Mo和所述复合氧化物的P型半导体,
所述氧化物绝缘体包含ZrO2,
所述复合氧化物包含Sr、La、Ti中的至少一种。
8.一种热电转换元件的制造方法,其特征在于,包含如下工序:
在作为第一热电转换部的基底的氧化物热电转换材料片材上,形成设有第一狭缝的第一绝缘体糊料层的工序;
在所述第一绝缘体糊料层上,形成覆盖所述第一狭缝和所述第一绝缘体糊料层的一部分的金属热电转换材料糊料层的工序;
在所述第一绝缘体糊料层上的所述金属热电转换材料糊料层的周围形成与所述金属热电转换材料糊料层相接且厚度与所述金属热电转换材料糊料层相同的第二绝缘体糊料层的工序;
形成覆盖所述金属热电转换材料糊料层和第二绝缘体糊料层且设有第二狭缝的第三绝缘体糊料层的工序;
生成包含所述氧化物热电转换材料片材、所述金属热电转换材料糊料层、所述第一绝缘体糊料层、所述第二绝缘体糊料层和所述第三绝缘体糊料层的层叠体的工序;以及
烧结所述层叠体的工序,
所述第二狭缝和所述金属热电转换材料糊料层在所述层叠体的层叠方向上重叠,
所述第一狭缝和所述第二狭缝分别配置在与所述层叠体的层叠方向垂直的方向两端。
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