[发明专利]主动冷却的真空隔离阀有效
申请号: | 201780020275.3 | 申请日: | 2017-04-10 |
公开(公告)号: | CN108885978B | 公开(公告)日: | 2023-04-25 |
发明(设计)人: | 戈登·希尔;大卫·F·布罗耶尔;大卫·C·诺伊迈斯特;布拉德利·雷蒙德·勒费夫尔 | 申请(专利权)人: | MKS仪器公司 |
主分类号: | H01L21/205 | 分类号: | H01L21/205;F16K5/10;H01L21/67 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 王瑞朋;胡彬 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 主动 冷却 真空 隔离 | ||
1.一种冷却隔离阀,包括:
阀体;
固定元件,其联接至所述阀体并相对于所述阀体固定;
可移动闭合元件,其能够相对于所述固定元件在闭合位置与打开位置之间移动,在所述闭合位置,所述可移动闭合元件和所述固定元件结合在一起,所述可移动闭合元件和所述固定元件之一包括密封元件,在所述可移动闭合元件的闭合位置,所述密封元件在所述可移动闭合元件与所述固定元件之间提供密封;
流体通道,其形成为与所述可移动闭合元件接触并且能够相对于所述固定元件随所述可移动闭合元件移动,使得所述流体通道中的流体在所述可移动闭合元件中实现热传递;
温度控制系统,其控制所述冷却隔离阀中的温度,所述温度控制系统包括被配置为调节供应到所述流体通道中的流体的流动的致动器;以及
传感器,其用于检测所述可移动闭合元件是处于打开位置还是处于闭合位置,
其中,所述致动器被配置为当所述传感器检测到所述可移动闭合元件处于闭合位置时抑制流体的流动。
2.根据权利要求1所述的冷却隔离阀,还包括:
气动致动装置,用于控制所述可移动闭合元件的移动;以及
波纹管,用于将所述气动致动装置与所述阀体内的环境隔离,所述波纹管设置为从所述阀的纵向轴线在径向上邻近所述气动致动装置,并且沿所述纵向轴线与所述气动致动装置至少部分地叠置。
3.根据权利要求1所述的冷却隔离阀,其中,所述密封元件包括O形环。
4.根据权利要求3所述的冷却隔离阀,还包括:
在所述固定元件和所述可移动闭合元件之一中的凹槽,所述O形环设置在所述凹槽中,并且所述O形环的表面从所述凹槽突出;以及
在所述固定元件和所述可移动闭合元件中的另一个的表面中的突起,当所述可移动闭合元件处于闭合位置时,所述突起与所述O形环的突出表面的一部分接触,使得所述O形环自由地膨胀和收缩。
5.根据权利要求3所述的冷却隔离阀,还包括:
在所述固定元件和所述可移动闭合元件之一中的凹槽,所述O形环设置在所述凹槽中,并且所述O形环的表面从所述凹槽突出;以及
在所述固定元件和所述可移动闭合元件中的另一个的表面中的凹入特征,当所述可移动闭合元件处于闭合位置时,所述凹入特征与所述O形环的突出表面的一部分接触,使得所述O形环自由地膨胀和收缩。
6.根据权利要求1所述的冷却隔离阀,其中,所述阀是提升阀。
7.根据权利要求6所述的冷却隔离阀,其中,所述可移动闭合元件包括所述提升阀的鼻件。
8.根据权利要求7所述的冷却隔离阀,其中,所述固定元件包括所述提升阀的阀座。
9.根据权利要求7所述的冷却隔离阀,其中,所述流体通道的至少一部分形成在所述鼻件中。
10.根据权利要求7所述的冷却隔离阀,其中,所述鼻件联接至所述冷却隔离阀的可移动阀杆。
11.根据权利要求10所述的冷却隔离阀,其中,所述流体通道的至少一部分形成在所述阀杆中。
12.根据权利要求6所述的冷却隔离阀,其中,所述密封元件包括在凹槽中的O形环,所述凹槽形成在所述提升阀的鼻件中。
13.根据权利要求1所述的冷却隔离阀,其中:
所述阀是闸阀;并且
所述可移动闭合元件包括能够在所述闭合位置与所述打开位置之间移动的闸以及与所述闸固定附接的轴,所述轴的旋转使得所述闸在所述打开位置与闭合位置之间移动。
14.根据权利要求13所述的冷却隔离阀,其中,所述固定元件包括阀座。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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