[发明专利]使用测试气体喷射装置的气体泄漏搜索

权利要求书

1.一种通过使用测试气体喷射装置和以喷射的泄漏销的形式连接到测试对象的真空系统用于测试气体泄漏检测装置的方法，所述真空系统是氦真空泄露检测器并包括用于抽空具有布置在所述测试对象下游的测试气体检测器的所述测试对象的真空泵，其中，所述测试气体检测器检测从所述测试对象抽离的气流中的所述测试气体含量作为测量信号，并包括评估所述测量信号的评估单元，

其特征在于：

喷射氦气到所述测试对象，

通过所述喷射装置捕获所述喷射过程的至少一个时间点，

将所述捕获的时间传达到所述评估单元，以及

通过所述评估单元将所述传达的喷射时间点与所述测量信号相关联，从而在所述测量信号中检测至少所述测试气体在喷射过程的各自时间点的含量；以及

确定所述真空系统的反应时间。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，喷射开始和/或喷射结束的所述时间点从喷射装置传达到所述评估单元并与所述测试气体检测器的所述测量信号相关联。

3.根据权利要求1至2任一项所述的方法，其特征在于，在测量期间，所述测量信号被传输到所述喷射装置或布置在所述喷射装置附近的输出单元。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述测试气体以短脉冲从所述喷射装置排出，并且所述测试气体脉冲的开始和结束的时间点或者一系列连续的测试气体脉冲的时间点被分别传达到所述评估单元，用于与所述测量信号相关联。