[发明专利]对金属互连结构具有增强粘附性的纳米线接触垫

说明书

本发明公开一种包括触敏观看区域的电容式触敏装置，该电容式触敏装置被配置为通过检测耦合电容的变化来检测施加至触敏观看区域的触摸的位置。边界区域围绕触敏观看区域。导电的第一电极包括有源部分和处于第一电极的末端处的端部部分，该有源部分设置在触敏观看区域中并且延伸跨越触敏观看区域，该端部部分设置在边界区域中以用于与控制器连接。第一电极的有源部分在观看区域上具有基本上均匀的第一薄片电阻。第一电极的端部部分以导电网的形式图案化，该导电网包括将多个空隙限定在其间的多个互连导电迹线，迹线基本上具有第一薄片电阻，并且空隙具有较高的第二薄片电阻。

背景技术

电容式触摸传感器可用作触敏面板的一部分，可实现人的触摸或手势与计算机、智能手机以及其它基于图形的屏幕界面的交互。电容式触摸传感器面板可由导电迹线的行和列形成，这些导电迹线的行和列是由电介质隔开的。在它们的交叉口处，迹线基本上形成两个电极。可将刺激(例如，触摸或悬停事件)施加至一个行，同时所有其它行保持在DC电压水平。当行被刺激时，调制的输出信号可电容耦合至传感器面板的列上，这些传感器面板的列连接至通常称为事件检测和解调电路的模拟通道。然后，可将输出值传输至控制器并且在主机计算机的显示屏上显示所得图像。

发明内容

用于显示设备中的触敏面板包括玻璃顶层和玻璃底层，在该玻璃顶层上已蚀刻透明导体诸如氧化铟锡(ITO)或氧化锑锡(ATO)的透明列迹线，在该玻璃底层上已蚀刻透明导体的行迹线。顶部玻璃层和底部玻璃层通过行迹线与列迹线之间的区域中的电介质隔开。

可通过将包括导电纳米线的材料图案化(例如，印刷)到聚合物膜基板上的电迹线，以相对低的成本有效地生产用于触敏面板的部件。纳米线可通过卷对卷工艺图案化，其中基板是未卷绕的，执行转化操作诸如印刷和干燥/固化，然后将图案化基板再次卷绕成卷，以供进一步运输和处理。

可将这些卷对卷工艺形成的图案化导电材料连接至电子电路部件以生产电子组件，诸如例如用于触摸屏显示器中的电容式触摸传感器。将靠近传感器面板边缘的边界区域中的显示屏观看区域外的纳米线迹线末端处的纳米线接触垫粘结至导电金属互连迹线。导电金属互连迹线继而连接至电子显示设备的事件检测和解调电路。在一些情况下，纳米线垫和导电金属(例如，银(Ag))互连迹线可彼此较差地粘附，这会增加电阻并且降低粘结接头的可靠性。

一般来讲，本公开涉及网状接触垫设计和用于将网状接触垫连接至金属互连电路迹线以形成电子组件的方法，该电子组件可用作电子设备的部件。本公开还涉及电子设备，诸如例如触摸屏显示器，这些电子设备是使用这些网状接触垫设计和互连工艺构造的。

在一个实施方案中，本公开涉及一种包括触敏观看区域的电容式触敏装置。触敏装置被配置为通过检测耦合电容的变化来检测施加至触敏观看区域的触摸的位置。边界区域围绕触敏观看区域。导电的第一电极包括有源部分和处于第一电极的末端处的端部部分，该有源部分设置在触敏观看区域中并且延伸跨越触敏观看区域，该端部部分设置在边界区域中以用于与控制器连接。第一电极的有源部分在观看区域上具有基本上均匀的第一薄片电阻，并且第一电极的端部部分以导电网的形式图案化，该导电网包括将多个空隙限定在其间的多个互连导电迹线。迹线基本上具有第一薄片电阻，并且空隙具有较高的第二薄片电阻。