[发明专利]透光性薄膜

说明书

透光性薄膜依次具备透明基材和透光性导电层，透光性导电层自透明基材侧起依次具备第1无机氧化物层、金属层、和第2无机氧化物层，第1无机氧化物层不含有晶粒，第2无机氧化物层含有晶粒。

技术领域

本发明涉及透光性薄膜，详细而言，涉及适合用于光学用途的透光性薄膜。

背景技术

以往以来，已知具备透明导电层的透明导电性薄膜等透光性薄膜用于触摸面板等光学用途。

例如，提出了在玻璃基板上层叠有依次形成透明氧化物薄膜、银系薄膜及透明氧化物薄膜而成的导电层的透明导电膜(例如，参照专利文献1)。专利文献1的透明导电膜中，2层透明氧化导电膜均由包含氧化铟的混合氧化物形成。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9-176837号公报

发明内容

发明要解决的问题

专利文献1中，在2层透明氧化导电膜之间插入有银系薄膜，因此低电阻优异。另外，由于导电层为透明氧化物薄膜、银系薄膜及透明氧化物薄膜的3层结构，因此在对导电层进行图案化时，能够抑制经图案化的导电层(布线图案)的可视性。

但是，银系薄膜不耐湿热，即使银系薄膜的上表面及下表面被透明氧化物薄膜覆盖，银系薄膜也会腐蚀、变色。因此，透明导电膜的外观变不良。

本发明的目的在于提供低电阻及透明性优异、并且湿热耐久性优异的透光性薄膜。

用于解决问题的方案

本发明[1]包括一种透光性薄膜，其依次具备透明基材和透光性导电层，前述透光性导电层自前述透明基材侧起依次具备第1无机氧化物层、金属层、和第2无机氧化物层，前述第1无机氧化物层不含有晶粒，前述第2无机氧化物层含有晶粒。

本发明[2]包括[1]所述的透光性薄膜，其中，前述金属层为银层或银合金层。

本发明[3]包括[1]或[2]所述的透光性薄膜，其中，前述第1无机氧化物层及前述第2无机氧化物层均含有氧化铟。

本发明[4]包括[1]～[3]中任一项所述的透光性薄膜，其中，前述第1无机氧化物层及前述第2无机氧化物层均含有铟锡复合氧化物。

本发明[5]包括[1]～[4]中任一项所述的透光性薄膜，其中，前述第2无机氧化物层为具有非晶质部及结晶质部的半结晶膜。

本发明[6]包括[1]～[5]中任一项所述的透光性薄膜，其中，前述第2无机氧化物层含有在厚度方向不贯通前述第2无机氧化物层的晶粒。

本发明[7]包括[1]～[6]中任一项所述的透光性薄膜，其中，前述透光性导电层具有图案形状。

本发明[8]包括[7]所述的透光性薄膜，其中，还具备粘合剂层，所述粘合剂层相对于前述透明基材设置在前述透光性导电层的相反侧的表面。

发明的效果

根据本发明的透光性薄膜，低电阻及透明性优异，并且湿热耐久性优异，能够抑制由湿热导致的外观不良。

附图说明

图1示出第1实施方式的透光性薄膜的截面图。

图2中，图2A～B示出图1所示的透光性薄膜的局部放大图。图2A示出第2无机氧化物层为完全结晶膜时的示意图。图2B示出第2无机氧化物层为半结晶膜时的示意图。