[发明专利]光束扫描装置及图案描绘装置

权利要求书

1.一种光束扫描装置，其特征在于，是将通过反射面的角度会变化的可动反射构件而偏向的光束投射至被照射体，且具备：

再反射光学系统，其具备反射镜与第1光学构件，该反射镜反射最初于所述可动反射构件反射的第1反射光束而产生朝向所述可动反射构件的第2反射光束，该第1光学构件于与通过所述可动反射构件产生的所述光束的偏向方向交叉的非偏向方向上使所述第2反射光束收敛；

扫描用光学系统，其入射所述第2反射光束于所述可动反射构件再次反射所得的第3反射光束，并朝向所述被照射体射出；及

分光构件，其设置于所述可动反射构件与所述再反射光学系统之间；且

最初由所述可动反射构件反射的所述第1反射光束经由所述分光构件而入射至所述再反射光学系统，并且自所述再反射光学系统朝向所述可动反射构件的所述第2反射光束经由所述分光构件而入射至所述扫描用光学系统。

2.如权利要求1所述的光束扫描装置，其特征在于，最初入射至所述可动反射构件的所述光束与再次入射的所述第2反射光束于所述可动反射构件的反射面上在所述非偏向方向上设定于相同的位置。

3.如权利要求1或2所述的光束扫描装置，其特征在于，进一步具备使最初入射至所述可动反射构件的所述光束于所述非偏向方向上收敛的第2光学构件，且

所述扫描用光学系统具备入射于所述可动反射构件再次反射的所述第3反射光束的fθ透镜系统、及使自所述fθ透镜系统朝向所述被照射体的所述第3反射光束于所述非偏向方向上收敛的第3光学构件。

4.如权利要求1或2所述的光束扫描装置，其特征在于，所述分光构件包含偏振分光镜及波片，且

将最初入射至所述可动反射构件的所述光束设为直线偏振光。

5.一种光束扫描装置，其特征在于，是将通过反射面的角度会变化的可动反射构件而偏向的光束投射至被照射体，且具备：

再反射光学系统，其具备反射镜与第1光学构件，该反射镜反射最初于所述可动反射构件反射的第1反射光束而产生朝向所述可动反射构件的第2反射光束，该第1光学构件于与通过所述可动反射构件产生的所述光束的偏向方向交叉的非偏向方向上使所述第2反射光束收敛；

扫描用光学系统，其入射所述第2反射光束于所述可动反射构件再次反射所得的第3反射光束，并朝向所述被照射体射出；及

导光构件，其将最初入射至所述可动反射构件的所述光束以自所述扫描用光学系统的射出侧入射的方式进行引导；且

所述可动反射构件将自所述扫描用光学系统的射出侧入射的所述光束作为所述第1反射光束朝向所述扫描用光学系统反射，

所述再反射光学系统将由所述可动反射构件反射并通过所述扫描用光学系统的所述第1反射光束自所述扫描用光学系统的射出侧入射并作为朝向所述可动反射构件的所述第2反射光束反射，

所述扫描用光学系统进一步入射所述第2反射光束通过所述可动反射构件而再次反射的所述第3反射光束，并朝向所述被照射体射出，

所述光束扫描装置进一步具备：

第1分光构件，其设置于所述扫描用光学系统与所述再反射光学系统之间、且自所述导光构件入射至所述扫描用光学系统的所述光束的光路、及于所述再反射光学系统反射并通过所述扫描用光学系统而朝向所述可动反射构件的所述第2反射光束的光路；及

第2分光构件，其设置于所述扫描用光学系统与所述再反射光学系统之间、且最初由所述可动反射构件反射并通过所述扫描用光学系统的所述第1反射光束的光路、及由所述可动反射构件再次反射并通过所述扫描用光学系统的所述第3反射光束的光路；且

将所述第3反射光束经由所述第2分光构件而投射至所述被照射体。

6.一种图案描绘装置，其特征在于，是于使基板于既定的方向移动的状态下，使用权利要求1至5中任一项所述的光束扫描装置，将所述光束投射至作为所述被照射体的所述基板上，且使所述光束于与所述既定的方向交叉的主扫描方向扫描，藉此于所述基板上描绘图案。

7.如权利要求6所述的图案描绘装置，其特征在于，沿着所述基板的移动方向及主扫描方向的至少一方向配置有多个所述光束扫描装置。