[发明专利]测量池结构和光学分析装置

说明书

本发明提供测量池结构和光学分析装置，能使测量池的安装和拆卸操作变得容易，从而能提高可用性，并能提高测量池的安装位置的精度。所述测量池结构包括：导入试样的测量池(2)；以可插拔的方式保持测量池(2)的池保持体(7)；以及介于测量池(2)和池保持体(7)之间设置，使测量池(2)相对于池保持体(7)在插拔方向上滑动的滑动机构(8)。滑动机构(8)具有形成在测量池(2)或池保持体(7)的一方上的凹部(81)以及形成在另一方上的凸部(82)。

技术领域

本发明涉及具有以可装拆的方式设置的测量池的测量池结构和使用该测量池结构的光学分析装置。

背景技术

以往，在对用于平板显示器(FPD)的制造工序和半导体的制造工序等的药液的成分浓度等进行管理的情况下，根据所述药液的吸光度测量其成分浓度。

用于这种方式的分析装置，如专利文献1所示，其包括：测量池，设置在制造工序的药液管道或与所述药液管道连接的试样管道上；光源，向所述测量池照射光；以及光检测器，检测通过了测量池中的药液的光。现有技术

专利文献

专利文献1：日本专利公开公报特开2010-60364号

发明内容

本发明要解决的技术问题

在所述分析装置中，本发明人考虑使测量池可装拆，并且通过使所述测量池的安装和拆卸的操作变得容易来提高可用性。

具体地说，本发明人考虑具有池保持体的测量池结构，所述池保持体以可插拔的方式保持测量池。所述池保持体具有收容测量池的收容部。此外，本发明人考虑了下述结构：通过在所述收容部中插入测量池进行安装，通过从收容部拔出测量池进行拆卸。

可是，从测量池的尺寸公差和池保持体的收容部的尺寸公差方面而言，在将测量池收容在池保持体的收容部的状态下，收容部和测量池之间会产生间隙(位移)。如果所述间隙大，则光源和光检测器与测量池的位置关系不固定而产生位移，会给测量结果带来不好的影响。另一方面，如果用收容部和测量池的尺寸公差严格设定收容部和测量池的间隙，则因所述尺寸公差造成在插拔时收容部与测量池的接触面积变大，作为其结果，摩擦阻力变大，插拔变得困难，操作性变差。

本发明是用于一举解决所述的问题而做出的发明，本发明的主要目的在于使测量池的安装和拆卸操作变得容易，从而提高可用性，并且提高测量池的安装位置的精度。

解决技术问题的技术方案

即，本发明的测量池结构，其包括：测量池，导入试样；池保持体，以可插拔的方式保持所述测量池；以及滑动机构，介于设置在所述测量池和所述池保持体之间，使所述测量池相对于所述池保持体在插拔方向上滑动，所述滑动机构包括：凹部，形成在所述测量池或所述池保持体的一方上；以及凸部，形成在所述测量池或所述池保持体的另一方上，与所述凹部对应。

按照该测量池结构，由于具有使测量池相对于池保持体在插拔方向上滑动的滑动机构，所以能够使测量池的安装和拆卸操作变得容易，从而能够提高可用性。此外，通过调整凹部和凸部的间隙，能够提高测量池的安装位置的精度。

特别是，在所述测量池插入所述池保持体的状态下，因为通过所述凹部和所述凸部之间形成的间隙设定了所述测量池相对于所述池保持体的位移(间隙)，所以通过凹部和凸部彼此接触，限制了测量池相对于池保持体的松动。由此，不仅能够减小测量池和池保持体的接触面积，而且能够提高测量池的安装位置的精度。在此，由于测量池和池保持体的接触面积小，所以测量池插拔时的测量池与池保持体的摩擦阻力变小，不会使插拔操作的操作性变差。

作为池保持体的具体结构，可以考虑具有收容部，所述收容部在至少一面上开口，收容所述测量池。此外，所述测量池通过所述开口以可插拔的方式收容并保持在所述收容部中。