[发明专利]酚醛清漆型树脂及抗蚀剂材料

说明书

提供耐热性、碱显影性、感光度、分辨率等各性能优异的酚醛清漆型树脂、含有前述酚醛清漆型树脂的感光性组合物、含有前述酚醛清漆型树脂的固化性组合物及其固化物、使用前述感光性组合物或固化性组合物而成的抗蚀剂材料。涉及将具有三(羟基芳基)次甲基的化合物(A)和醛化合物(B)作为必须反应原料的酚醛清漆型树脂、含有前述酚醛清漆型树脂的感光性组合物、含有前述酚醛清漆型树脂的固化性组合物及其固化物、使用前述感光性组合物或固化性组合物而成的抗蚀剂材料。

技术领域

本发明涉及耐热性、碱显影性、感光度、分辨率等各性能优异的酚醛清漆型树脂、含有其的感光性组合物、固化性组合物、及抗蚀剂材料。

背景技术

酚醛树脂利用耐热性等优异的特征，其单独或以配混有环氧树脂等的固化性组合物的形式用于光致抗蚀剂材料、半导体密封材料、印刷电路基板等电子构件用绝缘材料、粘接剂、涂料、成型材料等各种用途。

其中在光致抗蚀剂的领域中，相继开发了根据用途、功能细分化的多种多样的抗蚀图案形成方法，随之，对抗蚀剂用树脂材料的要求性能也高度化并且多样化。例如，用于正确并且以高生产效率在高集成化的半导体上形成微细的图案的高显影性是理所应当的，在厚膜形成时固化物需要柔软且不易破裂等的性能，用于抗蚀剂下层膜的情况下，要求耐干蚀刻性、耐热性等，另外，用于抗蚀剂永久膜时除了耐热性以外，还要求基材追随性等韧性。

在光致抗蚀剂用途中最广泛应用的酚醛树脂为甲酚酚醛清漆型，但并不能应对高度化并且多样化进展的当今市场的要求性能，作为基本性能的耐热性、显影性也不充分(参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平2-55359号公报

发明内容

发明要解决的问题

因此，本发明要解决的问题在于，提供耐热性、碱显影性、感光度、分辨率等各性能优异的酚醛清漆型树脂、含有其的感光性组合物、固化性组合物、及抗蚀剂材料。

用于解决问题的方案

本发明人等为了解决上述问题而进行了深入研究，发现以具有三(羟基芳基)次甲基的化合物为反应原料的酚醛清漆型树脂的耐热性、碱显影性、感光度、分辨率等各性能优异，完成了本发明。

即，本发明涉及一种酚醛清漆型树脂，其将具有三(羟基芳基)次甲基的化合物(A)和醛化合物(B)作为必须的反应原料。

本发明还涉及一种感光性组合物，其含有前述酚醛清漆型树脂和感光剂。

本发明还涉及一种抗蚀剂材料，其包含前述感光性组合物。

本发明还涉及一种固化性组合物，其含有前述酚醛清漆型树脂和固化剂。

本发明还涉及一种固化物，其为前述固化性组合物的固化物。

本发明还涉及一种抗蚀剂材料，其包含前述固化性组合物。

发明的效果

根据本发明，能够提供耐热性、碱显影性、感光度、分辨率等各性能优异的酚醛清漆型树脂、含有其的感光性组合物、固化性组合物、及抗蚀剂材料。

附图说明

图1为制造例1中得到的酚醛清漆型树脂(1)的GPC图。

具体实施方式

以下，详细地对本发明进行说明。

本发明的酚醛清漆型树脂将具有三(羟基芳基)次甲基的化合物(A)和醛化合物(B)作为必须的反应原料。