[发明专利]V1和更高层可编程ECO标准单元在审

专利信息
申请号: 201780024113.7 申请日: 2017-03-27
公开(公告)号: CN109075177A 公开(公告)日: 2018-12-21
发明(设计)人: S·萨胡;V·古普塔;X·陈;T·拉巴沙利 申请(专利权)人: 高通股份有限公司
主分类号: H01L27/118 分类号: H01L27/118;H01L27/02;H01L29/66;G06F17/50;H01L23/528;H01L27/092
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 亓云;陈炜
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 第一区域 第二区域 标准单元库 标准单元 断开连接 芯片设计 可编程 晶体管 互连 毗邻 延伸 高层
【权利要求书】:

1.一种包括多个区域的金属氧化物半导体(MOS)器件,所述MOS器件包括:

在所述器件的第一区域中的第一多个p型MOS(pMOS)晶体管和第一多个n型MOS(nMOS)晶体管,所述第一多个pMOS晶体管中的每一者和所述第一多个nMOS晶体管中的每一者具有鳍,所述第一多个pMOS晶体管包括具有第一pMOS晶体管栅极、第一pMOS晶体管源极和第一pMOS晶体管漏极的第一pMOS晶体管,所述第一多个nMOS晶体管包括具有第一nMOS晶体管栅极、第一nMOS晶体管源极和第一nMOS晶体管漏极的第一nMOS晶体管,所述第一pMOS晶体管栅极和所述第一nMOS晶体管栅极由跨所述器件在第一方向上延伸的第一栅极互连形成;以及

在所述器件的第二区域中的第二多个未利用的pMOS晶体管和第二多个未利用的nMOS晶体管,所述第二区域毗邻于所述第一区域,所述第二多个未利用的pMOS晶体管中的每一者和所述第二多个未利用的nMOS晶体管中的每一者具有鳍,所述第一区域中的所述第一多个pMOS晶体管和所述第一多个nMOS晶体管的鳍与所述第二区域中的所述第二多个未利用的pMOS晶体管和所述第二多个未利用的nMOS晶体管的鳍断开连接。

2.如权利要求1所述的MOS器件,其特征在于,进一步包括:

在所述第一区域中在所述第一方向上延伸的第一金属一(M1)层互连,所述第一M1层互连被耦合到所述第一pMOS晶体管源极;

在所述第一区域中在所述第一方向上延伸的第二M1层互连,所述第二M1层互连被耦合到所述第一pMOS晶体管漏极;

在所述第一区域中在所述第一方向上延伸的第三M1层互连,所述第三M1层互连被耦合到所述第一nMOS晶体管源极;以及

在所述第一区域中在所述第一方向上延伸的第四M1层互连,所述第四M1层互连被耦合到所述第一nMOS晶体管漏极。

3.如权利要求2所述的MOS器件,其特征在于,进一步包括在所述第一区域和所述第二区域中延伸的第五M1层互连,所述第五M1层互连被耦合到所述第一栅极互连。

4.如权利要求3所述的MOS器件,其特征在于,所述第五M1层互连在所述第一区域中在与所述第一方向正交的第二方向上延伸。

5.如权利要求3所述的MOS器件,其特征在于,所述第五M1层互连在所述第二区域中主要在所述第一方向上延伸。

6.如权利要求3所述的MOS器件,其特征在于,进一步包括在所述第二区域中在所述第一方向上延伸的第六M1层互连。

7.如权利要求6所述的MOS器件,其特征在于,进一步包括:

在所述第一区域和所述第二区域中延伸的第七M1层互连,所述第七M1层互连被耦合到第一电压源;以及

在所述第一区域和所述第二区域中延伸的第八M1层互连,所述第八M1层互连被耦合到第二电压源,所述第二电压源具有小于所述第一电压源的电压。

8.如权利要求7所述的MOS器件,其特征在于,所述第一M1层互连和所述第三M1层互连由第一掩模形成,其中所述第二M1层互连、和所述第四M1层互连和所述第六M1层互连由不同于所述第一掩模的第二掩模形成,其中所述第五M1层互连、所述第七M1层互连和所述第八M1层互连由第三掩模形成,所述第三掩模不同于所述第一掩模和所述第二掩模。

9.如权利要求7所述的MOS器件,其特征在于,所述第二M1层互连和所述第四M1层互连由第一掩模形成,其中所述第一M1层互连、和所述第三M1层互连和所述第六M1层互连由不同于所述第一掩模的第二掩模形成,其中所述第五M1层互连、所述第七M1层互连和所述第八M1层互连由第三掩模形成,所述第三掩模不同于所述第一掩模和所述第二掩模。

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