[发明专利]在溅射设备多层涂层系统中产生梯度层界定性质装置及方法

权利要求书

1.一种用于在溅射设备中的多层涂层系统中产生梯度层的界定性质的装置，包括以下特征：

a)阴极对，被布置在公共处理室中、且由第一阴极体以及第二阴极体组成，所述阴极对通过公共电源被供应直流电，其中所述直流电在进入所述处理室之前被转换为脉冲序列，所述脉冲序列具有交替的正脉冲及负脉冲、以及插入的脉冲暂停，在所述脉冲暂停中，所述公共电源不向所述第一阴极体与第二阴极体供应直流电，且其中至少一个或多个涡轮分子泵在各情况下被布置在所述阴极对上方，

b)用于控制各个脉冲的长度以及相应的脉冲暂停的持续时间的装置，

c)用于以在待涂布的衬底上产生公共沉积区域的方式调节所述两个阴极的装置，

d)公共工艺气体系统，其供应工艺气体的基本供应，其中单独的对称布置的分段工艺气体系统与每一个阴极体相关联，其中所述交替的正脉冲被供应到所述第一阴极体(18)，且所述交替的负脉冲被供应到所述第二阴极体(16)，所述交替的正脉冲以及所述交替的负脉冲在一个脉冲周期中被供应到所述第一以及第二阴极体。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述第一阴极体被配备有与所述第二阴极体不同的靶材。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于：如果管形式的阴极体被使用，则各个管状阴极的磁场取向可以被控制。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述第一阴极体与所述第二阴极体由平面阴极以及管状阴极组成。

5.一种用于在溅射设备中的多层涂层系统中产生梯度层的界定性质的方法，具有以下方法特征：

a)在用于相应涂层方法的设备中，直流电或平均频率发生器(10)由双极脉冲发生器(21)取代，其中节省高达30％的工艺能量，

b)供应正脉冲的输出被连接到对应于相应涂布作业的两个阴极中的一个阴极，

c)供应负脉冲的输出被连接到对应于所述相应涂布作业的所述两个阴极中的另一个阴极，

d)根据相关的涂布作业执行相应脉冲的持续时间的控制，其中，在所述供应正脉冲与所述供应负脉冲之间更插入一脉冲暂停，在所述脉冲暂停中，不向所述两个阴极中的任一个供应能量，且其中至少一个或多个涡轮分子泵在各情况下被布置在所述两个阴极上方，其中正脉冲被供应到所述两个阴极中的所述一个阴极，且负脉冲被供应到所述两个阴极中的所述另一个阴极，所述正脉冲以及所述负脉冲在一个脉冲周期中被供应到所述两个阴极中的所述一个阴极以及所述两个阴极中的所述另一个阴极。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于：各个脉冲之间的断开中断了溅射工艺。

7.一种具有程序代码的计算器程序，用于当在计算器中执行所述程序时，执行根据权利要求5及6中任一项所述的方法步骤。

8.一种机器可读载体，具有计算器程序的程序代码，用于当在计算器中执行所述程序时，执行根据权利要求5及6中任一项所述的方法。