[发明专利]低压气体放电辐射源及其制造方法

权利要求书

1.一种具有外部闭合电磁芯的无电极射频供电的感应耦合的低压气体放电辐射源，所述电磁芯具有：

-激励室组件，包括电磁铁和激励室，所述激励室具有大致U形管的部分，

-管状灯泡，与所述大致U形管的端部接合，

-激励室盖，放置在所述激励室组件上方，

-中间凸缘，在所述激励室盖与所述大致U形管之间连接，

其中，所述盖和所述中间凸缘用作与所述管状灯泡隔离的热隔离器。

2.如权利要求1所述的具有外部闭合电磁芯的无电极射频供电的感应耦合的低压气体放电辐射源，其中，汞合金壳体连接到所述大致U形管，并且是所述激励室组件的一部分。

3.如权利要求1所述的具有外部闭合电磁芯的无电极射频供电的感应耦合的低压气体放电辐射源，其中，所述电磁铁在被激活时产生电磁路，所述电磁路在所述激励室和所述管状灯泡中产生感应耦合的等离子体。

4.如权利要求3所述的具有外部闭合电磁芯的无电极射频供电的感应耦合的低压气体放电辐射源，其中，所述电磁路是具有一个或多个居中定位的场线圈的环形偶极磁路。

5.如权利要求1所述的具有外部闭合电磁芯的无电极射频供电的感应耦合的低压气体放电辐射源，其中，所述中间凸缘形成为与所述大致U形管分开的部件，并且通过气密密封件来连接到所述大致U形管。

6.如权利要求1所述的具有外部闭合电磁芯的无电极射频供电的感应耦合的低压气体放电辐射源，其中，单个的所述中间凸缘在其中包括两个孔，所述两个孔对应于所述管状灯泡的两个管。

7.如权利要求6所述的具有外部闭合电磁芯的无电极射频供电的感应耦合的低压气体放电辐射源，其中，所述两个孔和所述两个管在相同的平面上对准。

8.如权利要求1所述的具有外部闭合电磁芯的无电极射频供电的感应耦合的低压气体放电辐射源，其中，所述激励室包括以下特征中的一个或多于一个：排气管；汞合金壳体；外涂层；隔热涂层；单件成型；在所述激励室外部的石墨烯涂层。

9.如权利要求1所述的具有外部闭合电磁芯的无电极射频供电的感应耦合的低压气体放电辐射源，其中，所述电磁铁由具有一定形状的电磁芯形成，所述形状包括具有居中定位的直径部分的大致环形或长圆形的外部主体，从而在所述居中定位的直径部分的每一侧或周围形成一个或多个成形孔。

10.如权利要求9所述的具有外部闭合电磁芯的无电极射频供电的感应耦合的低压气体放电辐射源，其中，在所述居中定位的直径部分上居中地或连续地或在任一侧或相对位置处形成一个或多个线圈。

11.如权利要求1所述的具有外部闭合电磁芯的无电极射频供电的感应耦合的低压气体放电辐射源，其中，所述电磁铁利用电磁芯形成磁路，所述电磁芯具有双圆角E形的几何形状。

12.如权利要求1所述的具有外部闭合电磁芯的无电极射频供电的感应耦合的低压气体放电辐射源，其中，所述辐射源具有以下项中的一者或者两个或更多个的组合：所述激励室涂覆有石墨烯，以形成法拉第笼；所述管状灯泡涂覆有石墨烯以形成法拉第笼；所述激励室盖涂覆有石墨烯，以形成法拉第笼；电子功率控制器；电力控制器；其他控制器或电源控制器；上述控制器是远程的或与所述源集成在一起。

13.如权利要求1所述的具有外部闭合电磁芯的无电极射频供电的感应耦合的低压气体放电辐射源，其中，所述电磁辐射是以下光谱中的一个或多于一个：紫外线；可见光；红外线。

14.如权利要求1所述的具有外部闭合电磁芯的无电极射频供电的感应耦合的低压气体放电辐射源，其中，所述盖和所述中间凸缘还用作法拉第笼。