[发明专利]臭氧气体的浓缩方法以及臭氧气体的浓缩装置

权利要求书

1.一种臭氧气体的浓缩方法，其特征在于，

所述臭氧气体的浓缩方法包括如下工序：

向保持吸附剂的第一吸附容器内导入包含臭氧气体的原料混合气体，使所述第一吸附容器内的吸附剂吸附臭氧气体；

将第一浓缩容器的内部在不与所述第一吸附容器连通的状态下进行减压；

通过对保持吸附有臭氧气体的吸附剂的所述第一吸附容器内进行排气而排出所述第一吸附容器内的一部分气体；

将内部被减压的所述第一浓缩容器与排出内部一部分气体的所述第一吸附容器切换为连通的状态，并利用所述第一浓缩容器内与所述第一吸附容器内的压力差使所述第一吸附容器内的吸附剂所吸附的臭氧气体脱附并输送到所述第一浓缩容器内，由此向所述第一浓缩容器内导入臭氧气体的浓度比所述原料混合气体高的第一浓缩混合气体；

向保持吸附剂的第二吸附容器内导入包含臭氧气体的原料混合气体，使所述第二吸附容器内的吸附剂吸附臭氧气体，其中所述第二吸附容器与所述第一吸附容器不同；以及

将导入有所述第一浓缩混合气体的所述第一浓缩容器与保持吸附有臭氧气体的吸附剂的所述第二吸附容器切换为连通的状态，并利用所述第一浓缩容器内与所述第二吸附容器内的压力差使所述第二吸附容器内的吸附剂所吸附的臭氧气体脱附并输送到所述第一浓缩容器内，由此向所述第一浓缩容器内导入第二浓缩混合气体，所述第二浓缩混合气体中臭氧气体的浓度比所述第一浓缩混合气体低且比所述原料混合气体高。

2.根据权利要求1所述的臭氧气体的浓缩方法，其特征在于，

排出所述第一吸附容器内的一部分气体的工序包括：使所述第一吸附容器内的气体到达所述第一浓缩容器之前进行排气的工序。

3.根据权利要求2所述的臭氧气体的浓缩方法，其特征在于，

排出所述第一吸附容器内的一部分气体的工序包括：通过将保持吸附有臭氧气体的吸附剂的所述第一吸附容器连通到大气而排出所述第一吸附容器内的一部分气体的工序。

4.根据权利要求2所述的臭氧气体的浓缩方法，其特征在于，

排出所述第一吸附容器内的一部分气体的工序包括：保持吸附有臭氧气体的吸附剂的所述第一吸附容器内的一部分气体到达所述第一浓缩容器之前对所述第一吸附容器内的一部分气体进行排气，从而使所述第一吸附容器内的压力成为-80kPa·G以下的工序。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的臭氧气体的浓缩方法，其特征在于，

还包括：将与所述第一浓缩容器不同的第二浓缩容器的内部在不与所述第一吸附容器及所述第二吸附容器中任一方连通的状态下进行减压的工序，

排出所述第一吸附容器内的一部分气体的工序包括：将内部被减压的所述第二浓缩容器与保持吸附有臭氧气体的吸附剂的所述第一吸附容器切换为连通的状态，并利用所述第二浓缩容器内与所述第一吸附容器内的压力差使所述第一吸附容器内的吸附剂所吸附的臭氧气体脱附并输送到所述第二浓缩容器内，由此向所述第二浓缩容器内导入所述第一吸附容器内的一部分气体的工序。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的臭氧气体的浓缩方法，其特征在于，

向所述第一浓缩容器内导入所述第一浓缩混合气体的工序以及向所述第一浓缩容器内导入所述第二浓缩混合气体的工序不加热所述第一吸附容器及所述第二吸附容器而实施。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的臭氧气体的浓缩方法，其特征在于，

排出所述第一吸附容器内的一部分气体的工序包括：使保持吸附有臭氧气体的吸附剂的所述第一吸附容器与保持吸附剂的第三吸附容器连通而使所述第一吸附容器内的一部分气体向所述第三吸附容器内排出的工序。