[发明专利]去除气体管线内的沉积后残余的前驱物的设备和方法

权利要求书

1.一种设备，包括：

安瓿盖，具有外表面和内表面；和

阀组，连接到所述安瓿盖的所述外表面，所述阀组包括：

入口管线，连接到所述安瓿盖以允许通过所述安瓿盖的流体连通；

出口管线，连接到所述安瓿盖以允许通过所述安瓿盖的流体连通；

第一入口阀，与所述入口管线流体连通；

第二入口阀，与所述入口管线流体连通且在所述第一入口阀的上游；

第一出口阀，与所述出口管线流体连通；

第二出口阀，与所述出口管线流体连通且在所述第一出口阀的下游；

旁通管线，与所述第一入口阀和所述第一出口阀流体连通；和

旁通阀，与所述旁通管线流体连通。

2.如权利要求1所述的设备，其中所述第一入口阀是气动阀。

3.如权利要求1所述的设备，其中所述第一出口阀是气动阀。

4.如权利要求1所述的设备，其中所述第二入口阀是手动阀。

5.如权利要求1所述的设备，其中所述第二出口阀是手动阀。

6.如权利要求1所述的设备，其中所述阀组被焊接到所述安瓿盖的所述外表面。

7.如权利要求1所述的设备，其中所述阀组被栓接到所述安瓿盖的所述外表面。

8.一种安瓿，包括：

安瓿基部，具有底部，并且侧壁从所述底部延伸以形成所述安瓿的内部；

安瓿盖，具有外表面和内表面，所述安瓿盖连接到所述安瓿基部的所述侧壁的顶端以封闭所述安瓿的所述内部；

入口管线，具有外端和内端，所述入口管线与所述安瓿的所述内部流体连通；

出口管线，具有外端和内端，所述出口管线与所述安瓿的所述内部流体连通；

第一入口阀，与所述入口管线流体连通，所述第一入口阀在所述安瓿盖的上游，所述第一入口阀是气动阀；

第二入口阀，与所述入口管线流体连通，并且在所述第一入口阀的上游且与所述第一入口阀间隔开，所述第二入口阀是手动阀；

第一出口阀，与所述出口管线流体连通，所述第一出口阀在所述安瓿盖的下游，所述第一出口阀是气动阀；

第二出口阀，与所述出口管线流体连通，并且在所述第一出口阀的下游且与所述第一出口阀间隔开，所述第二出口阀是手动阀；

旁通管线，与所述第一入口阀和所述第一出口阀流体连通；和

旁通阀，与所述旁通管线流体连通。

9.如权利要求1或8所述的安瓿，其中所述旁通阀是气动阀。

10.如权利要求1或8所述的安瓿，进一步包括入口断开器，所述入口断开器在所述入口管线的所述外端，所述入口断开器与所述入口管线流体连通。

11.如权利要求1或8所述的安瓿，进一步包括出口断开器，所述出口断开器在所述出口管线的所述外端，所述出口断开器与所述出口管线流体连通。

12.如权利要求1或8所述的安瓿，其中所述入口管线和所述出口管线通过焊接或螺栓中的一者或多者来连接到所述安瓿盖。

13.如权利要求1或8所述的安瓿，其中所述入口管线穿过所述安瓿盖延伸距所述安瓿盖的所述内表面一定距离。

14.如权利要求13所述的安瓿，进一步包括分布器，所述分布器在所述入口管线的在所述安瓿盖的所述所述内表面上的一端上。

15.一种安瓿，包括：

安瓿基部，具有底部，并且侧壁从所述底部延伸以形成所述安瓿的内部；

安瓿盖，具有外表面和内表面，所述安瓿盖连接到所述安瓿基部的所述侧壁的顶端以封闭所述安瓿的所述内部；

入口管线，具有带有入口断开器的外端以及在所述安瓿的所述内部内与所述安瓿盖的所述内表面间隔开一定距离的内端，所述入口管线与所述安瓿的所述内部流体连通，所述入口管线具有连接到所述内端且与所述内端流体连通的分布器；

出口管线，具有带有出口断开器的外端以及内端，所述出口管线与所述安瓿的所述内部流体连通；

第一入口阀，与所述入口管线流体连通，所述第一入口阀在所述安瓿盖的上游，所述第一入口阀是气动阀；

第二入口阀，与所述入口管线流体连通，并且在所述第一入口阀的上游且与所述第一入口阀间隔开，所述第二入口阀是手动阀；

第一出口阀，与所述出口管线流体连通，所述第一出口阀在所述安瓿盖的下游，所述第一出口阀是气动阀；

第二出口阀，与所述出口管线流体连通，并且在所述第一出口阀的下游且与所述第一出口阀间隔开，所述第二出口阀是手动阀；

旁通管线，与所述第一入口阀和所述第一出口阀流体连通；和

旁通阀，与所述旁通管线流体连通，所述旁通阀是气动阀。