[发明专利]用于控制电磁泵的温度的方法

权利要求书

1.一种用于控制设备中的电磁泵的温度的方法，在所述设备中将液态金属通过馈送管从适于容纳液态金属的容器供应到真空室中的蒸发器装置，其中通过用蒸发器装置中的压力以及馈送管中的电磁泵对容器中的液态金属施加力，来控制液态金属的供应，其特征在于，所述方法包括：

-提供至少部分由导电材料制成的电磁泵，

-通过导电材料为电磁泵提供电流，并

通过控制以下各项中的一项或多项而控制电磁泵的温度：

-施加在容器中液态金属上的力，

-电磁泵的电流，和/或

-电磁泵的磁场强度。

2.根据权利要求1所述的方法，其中根据液态金属向蒸发器装置的所需供应来控制施加在容器中的液态金属上的力、电磁泵的电流和/或电磁泵的磁场强度。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中适于容纳液态金属的容器为密闭容器，并且其中通过控制密闭容器中的气体压力来控制施加在容器中的液态金属上的力。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述电磁泵至少部分地由石墨制成。

5.根据权利要求1或2所述的方法，其中将为所述电磁泵提供电流的电极设置成抵靠所述电磁泵。

6.根据权利要求1或2所述的方法，其中将所述电磁泵设置在真空罩中。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述真空罩还包围所述馈送管的至少一部分。

8.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述馈送管被加热。

9.根据权利要求7所述的方法，其中通过电阻加热或通过设置在馈送管的壁中的加热器加热馈送管。

10.根据权利要求1或2所述的方法，其中设置回流管和所述回流管中的电磁泵，其中所述回流管从蒸发器装置延伸到密闭容器，其中回流管中的电磁泵至少部分地由导电材料制成，其中用于电磁泵的电流通过导电材料供应，并且其中通过控制电磁泵的电流和/或电磁泵的磁场强度来控制回流管中的电磁泵的温度。

11.根据权利要求10所述的方法，其中回流管中的电磁泵平行于馈送管中的电磁泵定位。

12.根据权利要求11所述的方法，其中回流管中的电磁泵和馈送管中的电磁泵具有共用磁体。

13.根据权利要求10所述的方法，其中回流管中的电磁泵与馈送管中的电磁泵串联定位，并且其中各电磁泵的相对电极连接在一起。

14.根据权利要求13所述的方法，其中回流管中的电磁泵和馈送管中的电磁泵各自具有其自身的磁体。

15.根据权利要求1或2所述的方法，其中通过控制磁极相对于电磁泵的距离和/或借助于控制通过电磁体的线圈的直流电或交流电而控制由电磁体提供的磁场，来控制电磁泵的磁场。