[发明专利]用于向蒸发器设备供给液体材料的装置

权利要求书

1.一种用于将液态金属供给到真空腔室中的蒸发器设备的装置，所述装置还包括：封闭的容器，所述封闭的容器适于容纳液态金属；供给管，所述供给管从封闭的容器至蒸发器设备；电磁泵，所述电磁泵设置在供给管中，以及真空罩，所述真空罩包围电磁泵，其中，所述真空罩位于真空腔室和容器之间，所述供给管在封闭的容器和真空腔室外部的整个部分都在所述真空罩内，所述真空罩中的压力保持在1-200mbar的范围内，所述真空罩通过波纹管与封闭的容器和真空腔室的外部连接。

2.根据权利要求1所述的装置，其中：电磁泵至少部分由导电材料制成。

3.根据权利要求2所述的装置，其中：电磁泵至少部分由石墨制成。

4.根据权利要求2所述的装置，其中：电磁泵的电极设置为抵靠电磁泵。

5.根据权利要求1或2所述的装置，其中：控制部件设置为控制作用在适于容纳液态金属的所述容器中的液态金属上的力。

6.根据权利要求5所述的装置，其中：控制部件控制在所述封闭的容器中的气体的压力。

7.根据权利要求1或2所述的装置，其中：控制部件设置为控制电磁泵的磁场。

8.根据权利要求7所述的装置，其中：控制部件控制磁极相对于电磁泵的距离，和/或在磁场通过直流电磁体或交流电磁体来提供的情况下，控制部件控制通过直流电磁体或交流电磁体的线圈的电流。

9.根据权利要求1或2所述的装置，其中：施加用于电磁泵的磁场的磁体设置在真空罩的外部。

10.根据权利要求1或2所述的装置，其中：施加用于电磁泵的磁场的磁体包括永磁体。

11.根据权利要求1或2所述的装置，其中：阀设置在供给管中且在电磁泵和蒸发器设备之间。

12.根据权利要求1或2所述的装置，其中：设置了返回管，并设置了返回管中的电磁泵，所述返回管从蒸发器设备延伸至容器。

13.根据权利要求12所述的装置，其中：供给管中的电磁泵和返回管中的电磁泵定位成彼此相邻，且用于两个电磁泵的磁场由同一磁体来提供。

14.根据权利要求12所述的装置，其中：供给管中的电磁泵和返回管中的电磁泵定位成彼此相邻，且用于两个电磁泵的电流由同一电源来提供。