[发明专利]用于自动光学引线接合检验的自确定检验方法

权利要求书

1.一种用于光学引线接合检验的系统，其包括：

图像获取装置，其被配置成获得半导体部件的图像；

图像处理电路，其被配置成检测所述半导体部件的所述图像上的多个引线接合；

引线检测电路，其被配置成检测所述半导体部件的所述图像上的检测到的所述多个引线接合之间的引线；以及

检验评估电路，其被配置成确定与至少一个检测到的引线接合对应的关注检验区域，并且沿着所述关注检验区域检验所述半导体部件的所述图像。

2.根据权利要求1所述的用于光学引线接合检验的系统，进一步包括使用类哈尔特征分析和级联分类器来检测所述半导体部件的所述图像上的所述多个引线接合。

3.根据权利要求1所述的用于光学引线接合检验的系统，进一步包括接合过滤电路，所述接合过滤电路被配置成识别错误地检测到的引线接合。

4.根据权利要求3所述的用于光学引线接合检验的系统，进一步包括使用面积比来识别所述错误地检测到的引线接合。

5.根据权利要求3所述的用于光学引线接合检验的系统，进一步包括使用强度比来识别所述错误地检测到的引线接合。

6.根据权利要求3所述的用于光学引线接合检验的系统，进一步包括使用模板匹配分数来识别所述错误地检测到的引线接合。

7.根据权利要求3所述的用于光学引线接合检验的系统，进一步包括使用极性匹配分数来识别所述错误地检测到的引线接合。

8.根据权利要求3所述的用于光学引线接合检验的系统，进一步包括使用直方图相关分数来识别所述错误地检测到的引线接合。

9.根据权利要求3所述的用于光学引线接合检验的系统，进一步包括使用边缘相关分数来识别所述错误地检测到的引线接合。

10.根据权利要求1所述的用于光学引线接合检验的系统，进一步包括：所述检验评估电路将两个重叠的关注区域合并，以创建单个关注区域。

11.根据权利要求1所述的用于光学引线接合检验的系统，进一步包括使用面积比来检验所述检测到的引线接合的形状误差。

12.根据权利要求1所述的用于光学引线接合检验的系统，进一步包括使用强度比来检验所述检测到的引线接合的形状误差。

13.根据权利要求1所述的用于光学引线接合检验的系统，进一步包括通过评估所述引线接合的圆形度来检验所述检测到的引线接合的形状误差。

14.根据权利要求1所述的用于光学引线接合检验的系统，进一步包括检验所述检测到的引线接合的位置误差或第一接合与相邻接合之间的距离。

15.根据权利要求1所述的用于光学引线接合检验的系统，进一步包括：所述引线检测电路通过以下处理来检测所述半导体部件的所述图像上的引线：确定包括检测到的引线接合与所有其他检测到的引线接合之间的引线连接的候选检测到的引线组、检验所述半导体部件的所述图像以确定所述候选检测到的引线组内的引线是否存在、以及更新所述候选检测到的引线组以包括候选检测到的引线的存在或不存在。

16.根据权利要求1所述的用于光学引线接合检验的系统，进一步包括：通过评估所述半导体部件的所述图像上的所述引线接合的划痕、边缘碎裂、放置误差、缺失引线、长尾缺陷、接合宽度、接合高度、或线圈高度而沿着关注区域进行检验。