[发明专利]光束扫描装置

说明书

作为于基板(P)上一维地扫描光束(LBn)的光束扫描装置的扫描单元(Un)，具备于一方向具有聚焦力的第1柱面透镜(CY1)、使透过第1柱面透镜(CY1)的光束(LBn)偏向以便进行一维扫描的多面镜(PM)、将以远心的状态偏向的光束(LBn)投射至基板(P)的fθ透镜系统(FT)、及入射透过fθ透镜系统(FT)的光束(LBn)且于一方向具有聚焦力的第2柱面透镜(CY2)，第1柱面透镜(CY1)与第2柱面透镜(CY2)于彼此正交的方向具有聚焦力，该扫描单元(Un)进而具备设置于第1柱面透镜(CY1)与多面镜(PM)之间的透镜系统(G10)。

技术领域

本发明关于一种为于基板描绘特定图案而沿主扫描方向一维地扫描光束的光束扫描装置。

背景技术

已知，通过使用fθ透镜系统及多面镜(旋转多面镜)，可等速地扫描投射至感光材料上的光束。一般的多面镜的各反射面是与正交于多面镜的旋转面(包含旋转方向的平面)的方向平行地形成，但实际的反射面伴随有如相对于与多面镜的旋转面正交的方向略微倾斜的误差，即所谓面倾斜(倾斜)误差。该误差因每一反射面而异，故通过fθ透镜系统于感光材料上成像的光点的像位置(光束的投射位置)，于每个反射面有所偏移。

为防止该投射位置的偏移，于下述日本专利特开平8－297255号公报中，在多面镜的前方与fθ透镜系统之后此2处，配置有仅在相对于多面镜的偏向方向(扫描方向、多面镜的旋转方向)正交的方向具有折射力的柱面透镜。即，配置有如母线与光束的扫描方向平行的2个柱面透镜。由此，于与光束的扫描方向(主扫描方向)正交的方向(副扫描方向)上，可使多面镜的反射面上与感光材料的被照射面成为共轭关系，即使面斜率误差因多面镜的反射面而异，亦可使光束于感光材料上的投射位置在副扫描方向固定。

然而，如日本专利特开平8－297255号公报所述，将配置于多面镜前方的第1柱面透镜、及配置于fθ透镜系统(由多片球面透镜所构成)之后的第2柱面透镜的各个由单透镜构成，且使第1柱面透镜的母线与第2柱面透镜的母线平行的情形时，存在难以进行用以将由柱面透镜所产生的像差(例如光束的球面像差)良好地降低的光学设计(像差修正)等问题。

发明内容

本发明的第1实施方式的光束扫描装置，是一面将来自光源装置的光束投射至被照射体、一面于上述被照射体上一维地扫描上述光束，其具备：第1光学构件，其将上述光束聚光于对应上述一维方向的第1方向；光束偏向构件，其使通过上述第1光学构件的上述光束射入，为进行上述一维扫描而使上述光束偏向于上述第1方向；扫描用光学系统，其使以上述光束偏向构件偏向的上述光束射入，并投射向上述被照射体；第2光学构件，其使通过上述扫描用光学系统的上述光束射入，并将上述光束聚光于与上述第1方向正交的第2方向；及透镜系统，其设置于上述第1光学构件与上述光束偏向构件之间，将通过上述第1光学构件的上述光束于上述光束偏向构件的位置聚光于上述第2方向。

本发明的第2实施方式的描绘装置，是一面于被照射体上在主扫描方向扫描来自光源装置的光束，一面使上述被照射体与上述光束于副扫描方向相对移动，以于上述被照射体描绘图案，其具备：可动偏向构件，其为于上述主扫描方向扫描上述光束，而上述光束射入并使其于上述主扫描方向一维偏向；扫描用光学系统，其使以上述可动偏向构件一维偏向的上述光束射入，并将上述光束聚光投射至上述被照射体上；第1光学构件，其具有异向性的折射力，将朝向上述可动偏向构件的上述光束收敛于上述主扫描方向；第2光学构件，其具有异向性的折射力，将自上述扫描用光学系统射出而朝向上述被照射体的上述光束收敛于上述副扫描方向；及第3光学构件，其设置于上述第1光学构件与上述可动偏向构件之间，且具有使收敛于上述主扫描方向的上述光束射入，并将之转换为于上述副扫描方向收聚的光束并使其朝向上述可动偏向构件射出的等向性的折射力。