[发明专利]光学部件及激光加工机有效
| 申请号： | 201780028538.5 | 申请日： | 2017-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN109154678B | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 福永圭佑;中井秀和 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G02B1/115 | 分类号： | G02B1/115;B23K26/382;C23C14/06;C23C16/27;G02B1/14 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 部件 激光 加工 | ||
【权利要求书】：
1.一种CO2激光用光学部件，其特征在于，
在Ge基板的至少单面，从该Ge基板侧起依次层叠有氟化物膜、Ge膜及类金刚石膜即DLC膜，
所述氟化物膜的膜厚为500nm～950nm，所述Ge膜的膜厚为50nm～150nm，所述DLC膜的膜厚为50nm～300nm。
2.根据权利要求1所述的CO2激光用光学部件，其特征在于，
所述氟化物膜由从通过YF3、YbF3及MgF2构成的组选择的至少一种构成。
3.根据权利要求1或2所述的CO2激光用光学部件，其特征在于，
通过所述类金刚石膜覆盖而所述氟化物膜及所述Ge膜不露出。
4.一种CO2激光加工机，其特征在于，具有权利要求1至3中任一项记载的CO2激光用光学部件。
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