[发明专利]微机械传感器和用于制造微机械传感器的方法

权利要求书

1.微机械传感器（200），具有：

-衬底（1）；

-在三个空间方向（x、y、z）上敏感的、能运动的质量元件（10）；

-用于感测所述能运动的质量元件（10）的横向x偏移的两个x横向电极结构；

-用于感测所述能运动的质量元件（10）的横向y偏移的两个y横向电极结构；

-用于感测所述能运动的质量元件（10）的z偏移的z电极结构；其中，

-每个横向电极结构借助于固定元件（40、50、60、70）固定在所述衬底（1）上；其中，

-所有电极结构的固定元件（40、50、60、70、120、130）构造得靠近使所述能运动的质量元件（10）附接于所述衬底（1）的附接元件（13），其中，

两个x横向电极结构中的每个x横向电极结构和两个y横向电极结构中的每个y横向电极结构分别包括两个固定元件，其中，

两个x横向电极结构中的每个x横向电极结构和两个y横向电极结构中的每个y横向电极结构分别包括形成在第三功能层中的多个电极指，其中，

每个x横向电极结构的多个x电极指中的一半x电极指和每个y横向电极结构的多个y电极指中的一半y电极指位于形成在第二功能层中的所述固定元件上方，其中，

每个x横向电极结构的多个x电极指中的另一半x电极指和每个y横向电极结构的多个y电极指中的另一半y电极指分别在所述第三功能层中直接相互连接。

2.根据权利要求1所述的微机械传感器（200），其特征在于，所述横向电极结构的电极脊形部（20、30）相对于所述传感器（200）的纵向尺寸而言构造得短。

3.根据权利要求2所述的微机械传感器（200），其特征在于，所述电极脊形部的长度大约为所述传感器（200）的一半纵向尺寸的三分之一。

4.根据前述权利要求中任一项所述的微机械传感器（100），其特征在于，用于所述电极结构的导电元件（80、90、100、110、120、130）构造在所述传感器（200）的第一和第二功能层中。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的微机械传感器（100），其特征在于，所述横向电极结构的探测指（21、22、31、32）和电极脊形部（20、30）构造在所述传感器（200）的第三功能层中。

6.用于制造微机械传感器（200）的方法，所述方法具有以下步骤：

-提供衬底（1）；

-提供能运动的、在三个空间方向（x、y、z）上敏感的能运动的质量元件（10）；

-构造两个x横向电极结构；

-构造两个y横向电极结构；

-构造两个z电极结构；并且

-将全部电极结构固定得靠近使所述能运动的质量元件（10）附接于所述衬底（1）的附接元件（13），其中，

两个x横向电极结构中的每个x横向电极结构和两个y横向电极结构中的每个y横向电极结构分别包括两个固定元件，其中，

两个x横向电极结构中的每个x横向电极结构和两个y横向电极结构中的每个y横向电极结构分别包括形成在第三功能层中的多个电极指，其中，

每个x横向电极结构的多个x电极指中的一半x电极指和每个y横向电极结构的多个y电极指中的一半y电极指位于形成在第二功能层中的所述固定元件上方，其中，

每个x横向电极结构的多个x电极指中的另一半x电极指和每个y横向电极结构的多个y电极指中的另一半y电极指分别在所述第三功能层中直接相互连接。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，所述横向电极结构的电极脊形部（20、30）的长度构造得大约为所述传感器（200）的一半纵向尺寸的三分之一。

8.根据权利要求6或7所述的方法，其中，用于所述电极结构的导电元件（80、90、100、110、120、130）构造在所述传感器（200）的第一和第二功能层中。

9.根据权利要求6或7所述的方法，其中，所述横向电极结构的探测指（21、22、31、32）和电极脊形部（20、30）构造在所述传感器（200）的第三功能层中。