[发明专利]有音频信号检测的包括麦克风和低功率电路的微机电系统（MEMS）在审
| 申请号： | 201780028819.0 | 申请日： | 2017-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN109155881A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | M.泽莱茨尼克;A.卡施纳 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | H04R1/04 | 分类号： | H04R1/04;H04R3/00;H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 毕铮;申屠伟进 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 传感器 模拟信号处理器 传感器电路 传感器设备 前置放大器 耦合到 音频信号 德耳塔 检测 转换器 目标音频信号 可移动构件 全性能 音频信号处理器 单个传感器 低功率电路 低功率模式 低性能模式 微机电系统 堆叠配置 发送控制 控制信号 模式操作 三维芯片 输出信号 信号指示 麦克风 调制器 配置 声压 通信 断电 电路 通电 | ||
1.一种MEMS传感器系统，包括：
具有可移动构件的传感器设备；
将传感器设备通信地耦合到至少一个或多个端子的传感器电路，其中传感器电路包括：
传感器ASIC；以及
模拟信号处理器，其耦合到传感器ASIC、传感器设备和端子中的至少一个；
其中传感器ASIC被配置为在检测到音频信号之后以全性能模式操作，或者当没有检测到音频信号时以较低性能模式操作。
2.根据权利要求1所述的MEMS传感器系统，其中模拟信号处理器被配置为检测音频信号。
3.根据权利要求2所述的MEMS传感器系统，其中传感器电路包括被配置为输出信号的前置放大器，所述信号指示可移动构件上的声压。
4.根据权利要求3所述的MEMS传感器系统，其中在检测到音频信号之后，前置放大器处于全性能模式。
5.根据权利要求3所述的MEMS传感器系统，其中当音频信号不存在时，前置放大器处于较低功率模式。
6.根据权利要求3所述的MEMS传感器系统，其中传感器电路还包括通信地耦合到前置放大器的西格马-德耳塔调制器。
7.根据权利要求6所述的MEMS传感器系统，其中在检测到音频信号之后，前置放大器处于全性能模式，并且西格马-德耳塔调制器被通电。
8.根据权利要求6所述的MEMS传感器系统，其中在检测到音频信号之后，前置放大器处于全性能模式，并且西格马-德耳塔调制器被断电。
9.根据权利要求1所述的MEMS传感器系统，其中传感器ASIC和音频信号处理器在三维芯片堆叠配置中。
10.根据权利要求1所述的MEMS传感器系统，其中传感器ASIC和音频信号处理器集成为单个传感器电路。
11.根据权利要求1所述的MEMS传感器系统，其中传感器设备选自由驻极体麦克风、硅麦克风、电容式麦克风和压电麦克风组成的组。
12.一种用于MEMS传感器设备封装的传感器电路，包括：
至少一个端子；
传感器ASIC；以及
模拟信号处理器，其耦合到传感器ASIC和端子中的至少一个；
其中传感器ASIC被配置为在检测到音频信号之后以全性能模式操作，或者当没有检测到音频信号时以较低性能模式操作。
13.根据权利要求12所述的传感器电路，其中模拟信号处理器被配置为检测音频信号。
14.根据权利要求13所述的传感器电路，还包括前置放大器，其被配置为输出指示声压的音频信号。
15.根据权利要求14所述的传感器电路，其中在检测到音频信号之后，前置放大器处于全性能模式。
16.根据权利要求14所述的传感器电路，其中当音频信号不存在时，前置放大器处于较低功率模式。
17.根据权利要求14所述的传感器电路，还包括通信地耦合到前置放大器的西格马-德耳塔调制器。
18.根据权利要求17所述的传感器电路，其中在检测到音频信号之后，前置放大器处于全性能模式，并且西格马-德耳塔调制器被通电。
19.根据权利要求17所述的传感器电路，其中在检测到音频信号之后，前置放大器处于全性能模式，并且西格马-德耳塔调制器被断电。
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