[发明专利]压电振动器件及压电振动器件的制造方法

权利要求书

1.一种压电振动器件，通过将在第一构件上被形成为环状的第一金属膜与在第二构件上被形成为环状的第二金属膜接合，而形成环状的密封用接合件，实现压电振动的振动部被所述密封用接合件气密密封，其特征在于：

所述第一金属膜、第二金属膜均为由金构成的金属膜，

所述密封用接合件不使用接合专用材料，而是通过加压状态下的金-金接合而形成，所述密封用接合件的内周缘部及外周缘部被形成为比所述内周缘部与所述外周缘部之间的中间部分密集的状态，

所述压电振动器件包括：在基板的一个主面上形成有第一激发电极、在所述基板的另一个主面上形成有与所述第一激发电极成对的第二激发电极的压电振动板；覆盖所述压电振动板的所述第一激发电极的第一密封件；及覆盖所述压电振动板的所述第二激发电极的第二密封件，

在所述第一密封件与所述压电振动板之间、及所述压电振动板与所述第二密封件之间，分别形成有所述密封用接合件，

所述第一密封件与所述压电振动板之间的所述密封用接合件和所述压电振动板与所述第二密封件之间的所述密封用接合件设置在俯视下一致的位置。

2.如权利要求1所述的压电振动器件，其特征在于：

所述第一金属膜、所述第二金属膜被形成为，各自被环状狭缝分离成内周侧金属膜和外周侧金属膜，

所述密封用接合件被形成为，分离成内周侧密封用接合件和外周侧密封用接合件。

3.如权利要求1所述的压电振动器件，其特征在于：

所述第一金属膜被形成为，被环状狭缝分离成内周侧金属膜和外周侧金属膜，

所述密封用接合件被形成为，分离成内周侧密封用接合件和外周侧密封用接合件。

4.如权利要求1所述的压电振动器件，其特征在于：

所述第一密封件、所述第二密封件由厚度为30μm～80μm的脆性材料构成，

所述第一密封件与所述压电振动板之间的间隙、及所述压电振动板与所述第二密封件之间的间隙被设定在所述第一密封件、第二密封件的厚度的0.1倍以下。

5.一种压电振动器件的制造方法，所述压电振动器件为，通过将在第一构件上被形成为环状的第一金属膜与在第二构件上被形成为环状的第二金属膜接合，而形成环状的密封用接合件，实现压电振动的振动部被所述密封用接合件气密密封，其特征在于：

所述第一金属膜、所述第二金属膜均为由金构成的金属膜，通过溅射而形成，

所述密封用接合件的形成不使用接合专用材料，而是在通过加压状态下的金-金接合进行的，

所述压电振动器件包括：在基板的一个主面上形成有第一激发电极、在所述基板的另一个主面上形成有与所述第一激发电极成对的第二激发电极的压电振动板；覆盖所述压电振动板的所述第一激发电极的第一密封件；及覆盖所述压电振动板的所述第二激发电极的第二密封件，

在所述第一密封件与所述压电振动板之间、及所述压电振动板与所述第二密封件之间，分别形成有所述密封用接合件，

所述第一密封件与所述压电振动板之间的所述密封用接合件和所述压电振动板与所述第二密封件之间的所述密封用接合件设置在俯视下一致的位置。

6.如权利要求5所述的压电振动器件的制造方法，其特征在于：

所述第二构件由厚度为30～80μm的脆性材料构成，

所述第一构件与所述第二构件之间的间隙被设定在所述第二构件的厚度的0.1倍以下。

7.如权利要求5或6所述的压电振动器件的制造方法，其特征在于：

所述第一金属膜、所述第二金属膜的任意一方被形成为，被环状狭缝分离成内周侧金属膜和外周侧金属膜，

所述密封用接合件被形成为，分离成内周侧密封用接合件和外周侧密封用接合件。

8.如权利要求5或6所述的压电振动器件的制造方法，其特征在于：

所述第一金属膜、所述第二金属膜被形成为，各自被环状狭缝分离成内周侧金属膜和外周侧金属膜，

所述密封用接合件被形成为，分离成内周侧密封用接合件和外周侧密封用接合件。