[发明专利]用于RF发生器中的频率调谐的装置

权利要求书

1.一种射频(RF)发生器，包括：

激励器，生成以初始频率振荡的信号；

功率放大器，放大所述信号以产生放大的振荡信号；

滤波器，过滤所述放大的振荡信号，以产生向等离子体处理室中的等离子体负载供应功率的输出信号；

传感器，感测等离子体负载的至少一个属性；和

频率调谐子系统，配置为：

产生作为激励器频率的函数的等离子体负载的阻抗轨迹；

接收复合反射系数平面中的参考点，所述参考点位于穿过参考点和复合反射系数平面的原点的参考矢量上；

从传感器接收等离子体负载的阻抗的测量值，测量的阻抗位于沿阻抗轨迹上；

确定在参考矢量与线之间的测量角度，其表示为复合反射系数，所述线穿过参考点和与测量的阻抗相对应的复合反射系数平面中的点；

以预定常数缩放测量角度，以产生频率步长；

将所述频率步长加到初始频率，以产生调节过的频率；和

使激励器生成以调节过的频率振荡的信号。

2.根据权利要求1所述的射频(RF)发生器，其中，所述RF发生器被配置为通过一个或多个匹配网络向所述等离子体负载供应功率。

3.根据权利要求1所述的射频(RF)发生器，其中，所述频率调谐子系统被配置为，迭代地：

从传感器接收等离子体负载的测量的阻抗；

确定参考矢量与线之间的测量角度，所述线穿过参考点和与测量的阻抗对应的复合反射系数平面中的点；

以预定常数缩放测量角度，以产生频率步长；

将频率步长加到初始频率，以产生调节过的频率；和

使激励器生成以调节过的频率振荡的信号。

4.根据权利要求3所述的射频(RF)发生器，其中，所述频率调谐子系统被配置为，直到与测量的阻抗对应的复合反射系数的幅度小于预定阈值，迭代地：

从传感器接收等离子体负载的测量的阻抗；

确定参考矢量与线之间的测量角度，所述线穿过参考点和与测量的阻抗对应的复合反射系数平面中的点；

以预定常数缩放测量角度，以产生频率步长；

将频率步长加到初始频率，以产生调节过的频率；和

使激励器生成以调节过的频率振荡的信号。

5.根据权利要求1所述的射频(RF)发生器，其中，所述频率调谐子系统被配置为：通过从所述测量角度减去预定的失谐角度并且以预定常数缩放所述测量角度减去预定的失谐角度的差值，产生频率步长。

6.根据权利要求3所述的射频(RF)发生器，其中，所述频率调谐子系统被配置为包括迭代频率调节，所述迭代频率调节为：在每次迭代时，通过从所述测量角度减去预定的失谐角度并且以预定常数缩放所述测量角度减去预定的失谐角度的差值，产生频率步长。

7.根据权利要求6所述的射频(RF)发生器，其中，所述频率调谐子系统被配置为，当与测量的阻抗对应的复合反射系数与所述阻抗轨迹上的预定的失谐点之间的差值的幅度小于预定阈值时，终止所述迭代频率调节，所述失谐点表示为在复合反射系数平面中的复合反射系数。

8.根据权利要求1所述的射频(RF)发生器，其中，所述频率调谐子系统被配置为，通过将所述测量角度升高到大于1的幂并且将以预定常数缩放升高到大于1的幂的测量角度，产生频率步长。

9.根据权利要求1所述的射频(RF)发生器，其中，所述频率调谐子系统包括编码有用于产生阻抗轨迹的指令的非暂时性有形机器可读介质；接收参考点；接收测量的阻抗；确定测量角度；缩放测量角度；加频率步长；以及使激励器生成信号。