[发明专利]可变射频微机电开关

权利要求书

1.一种射频微机电开关(1)，包括：

-一半导体基板和/或绝缘基板(2)，所述半导体基板和/或绝缘基板(2)具有基本平坦面(21)；

-一第一RF线(3)，所述第一RF线(3)能够传输RF信号并且包括至少一个第一RF线金属层，所述第一RF线(3)设置于所述半导体基板和/或绝缘基板(2)的所述基本平坦面(21)上；

-一第二RF线(4)，所述第二RF线(4)能够传输RF信号并且包括至少一个第二RF线金属层；

-一MEMS膜(5)，所述MEMS膜(5)能够通过静电类型的一次或多次激活朝向所述半导体基板和/或绝缘基板(2)或相反方向偏转，所述MEMS膜(5)包括至少一层金属并且基本上平行于所述半导体基板和/或绝缘基板(2)并通过一个或多个锚(51)与所述第一RF线(3)相连；

-一圆顶(6)，所述圆顶(6)具有与所述半导体基板和/或绝缘基板(2)的所述基本平坦面(21)相对的内表面(61)和与所述内表面(60)相对的外表面(62)，所述圆顶(6)包括至少一个圆顶介电层(62)，所述圆顶(6)布置于所述第二RF线(4)和MEMS膜(5)之间，将所述MEMS膜(5)封闭地封装在腔体(C)中，并且锚固在所述半导体基板和/或绝缘基板(2)的所述基本平坦面(21)上，

所述开关的特征在于，所述第二RF线(4)至少包括与所述半导体基板和/或绝缘基板(2)的所述基本平坦面接触的第一部分(41)和与所述第一部分(41)相邻并且电连接的第二部分(42)，所述第二部分(42)至少部分地覆盖在所述圆顶(6)的上部；

所述圆顶(6)通过由所述第一RF线(3)和所述第二RF线(4)中的一条或两条构成的金属气密密封。

2.根 据权利要求1所述的开关(1)，其特征在于，所述MEMS膜(5)还包括至少一个MEMS膜介电层和/或一个或多个额外的MEMS膜金属层。

3.根据权利要求1或2所述的开关(1)，其特征在于，所述第二RF线(4)的所述第二部分(42)至少部分地插入于所述圆顶(6)的所述圆顶介电层(62)中。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的开关(1)，其特征在于，还包括：

-一个或多个上激活电极(71)，所述一个或多个上激活电极(71)彼此电连接并且能够使所述MEMS膜(5)通过静电激活偏转，所述上激活电极(71)布置于所述圆顶(6)的外表面上和/或

-一个或多个中央激活电极(72)，所述一个或多个中央激活电极(72)彼此电连接并且能够使所述MEMS膜(5)通过静电激活偏转，所述中央激活电极(72)布置于所述圆顶(6)的内表面(62)上和/或

-一个或多个下激活电极(73)，所述一个或多个下激活电极(72)彼此电连接并且能够使所述MEMS膜(5)通过静电激活偏转，所述下激活电极(73)布置于所述腔体(C)中的所述半导体基板和/或绝缘基板(2)的所述基本平坦面(21)上。

5.根据权利要求4所述的开关(1)，其特征在于，包括一个或多个上激活电极(71)，每个上激活电极(71)通过金属通孔(75)电连接到所述中央激活电极(72)。

6.根据权利要求4或5所述的开关(1)，其特征在于，包括布置在所述腔体(C)中的一个或多个止动销(9)，以防止所述中央激活电极（72）或下激活电极(73)与所述MEMS膜(5)在其偏转时的任何接触。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的开关(1)，其特征在于，所述圆顶(6)包括至少一个开口，其中金属销(91)容纳在所述开口中，所述金属销(91)形成于所述第二RF线(4)的所述第二部分(42)的延伸部中，从而使得所述MEMS膜(5)和所述第二RF线(4)的所述第二部分(42)能够在所述MEMS膜(5)被上激活电极(71)或中央激活电极(72)激活时接触，以形成欧姆接触。