[发明专利]光学漂移校正系统以及方法

权利要求书

1.一种光学漂移校正系统，其特征在于，包括：

镜子，具有曲面；

光源，配置在可向上述镜子的上述曲面发射光线的位置；

多个光敏检测器，配置在可对从上述镜子的上述曲面反射过来的上述光线进行接收的位置；以及，

检测回路，与上述光敏检测器电气连接，通过对从上述光敏检测器传送过来的信号进行处理而对上述镜子相对于上述光源的移动进行检测。

2.根据权利要求1所述的光学漂移校正系统，其特征在于：

上述镜子的上述曲面为凸面或凹面。

3.根据权利要求1所述的光学漂移校正系统，其特征在于：

上述镜子为可对二维漂移进行检测的球面镜、非球面反射镜或凸抛物面反射镜。

4.根据权利要求1所述的光学漂移校正系统，其特征在于：

上述镜子为凸抛物面反射镜。

5.根据权利要求1所述的光学漂移校正系统，其特征在于：

调焦透镜，配置在可对上述镜子的上述曲面的光线进行调焦的位置。

6.根据权利要求5所述的光学漂移校正系统，其特征在于：

可对上述调焦透镜到上述镜子的上述曲面的距离进行调整。

7.根据权利要求1所述的光学漂移校正系统，其特征在于：

上述镜子为用于对第1轴上的一维漂移进行检测的圆筒面镜。

8.根据权利要求7所述的光学漂移校正系统，其特征在于：

第2圆筒面镜以及用于对漂移进行检测的多个第2光敏检测器，上述镜子为用于对与第1轴垂直相交的第2轴上的一维漂移进行检测的圆筒面镜。

9.根据权利要求1所述的光学漂移校正系统，其特征在于：

分光器，配置在可对从上述光源入射到上述镜子的上述曲面上的光线进行分割的位置，诱导垂直反射并将所反射的光线传送到多个光敏检测器。

10.根据权利要求9所述的光学漂移校正系统，其特征在于：

偏振膜以及半波片，配置在上述光源和上述分光器之间的位置；以及，四分之一波片，配置在上述分光器与上述镜子的上述曲面之间的位置。

11.根据权利要求1所述的光学漂移校正系统，其特征在于：

上述光源为射频调制激光二极管、超发光二极管或光纤耦合光源。

12.根据权利要求1所述的光学漂移校正系统，其特征在于：

上述镜子和上述多个光敏检测器构成第1光学漂移校正传感器的一部分，还包括由具有曲面的第2镜子以及多个第2光敏检测器构成的第2漂移校正传感器，检测回路被配置为利用第1以及第2漂移校正传感器之输出的算数组合执行漂移计算。

13.根据权利要求1所述的光学漂移校正系统，其特征在于：

上述镜子被安装到原子力显微镜的扫描工作台上。

14.一种原子力显微镜，其特征在于，包括：

悬臂，配备有与上述样本对应的探针；

扫描平台，用于安置上述样本；以及，

光学漂移校正系统，与上述扫描平台联接；

其中，上述光学漂移校正系统，包括：

镜子，具有曲面；

多个光敏检测器，配置在可对从上述镜子的上述曲面反射过来的上述光线进行接收的位置；以及，

检测回路，与上述光敏检测器电气连接，通过对从上述光敏检测器传送过来的信号进行处理而对上述镜子相对于上述光源的移动进行检测。