[发明专利]脉冲光生成装置、脉冲光生成方法、具备脉冲光生成装置的曝光装置及检查装置

权利要求书

1.一种脉冲光生成装置，其特征在于，所述脉冲光生成装置构成为包括：

第1光纤，其供第1脉冲光和第2脉冲光在合波后入射并在内部传播，其中，所述第2脉冲光在所述第1脉冲光的强度增大时强度减小，而在所述第1脉冲光的强度减小时强度增大；以及

第2光纤，其接收从所述第1光纤射出的所述第1脉冲光而在内部传播并放大，

在所述第1光纤中，因来自所述第2脉冲光的交叉相位调制而在所述第1脉冲光中产生相位调制，

在所述第2光纤中在所述第1脉冲光产生的自相位调制因在所述第1光纤中产生的相位调制而被抵消，

所述第2脉冲光具有比所述第1脉冲光的最大强度大的最大强度。

2.根据权利要求1所述的脉冲光生成装置，其特征在于，

所述第2脉冲光在所述第1脉冲光的强度成为最大的时间点之前以及之后的时间点分别具有极大值。

3.根据权利要求1所述的脉冲光生成装置，其特征在于，

在向所述第2光纤入射时的所述第2脉冲光的所述最大强度比在向所述第2光纤入射时的所述第1脉冲光的最大值小或为零。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的脉冲光生成装置，其特征在于，

还具有分离元件，该分离元件配置在所述第1光纤与所述第2光纤之间，用于使所述第1脉冲光与所述第2脉冲光分离。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的脉冲光生成装置，其特征在于，还具有：

射出所述第1脉冲光的第1激光光源；以及

射出所述第2脉冲光的第2激光光源。

6.根据权利要求4所述的脉冲光生成装置，其特征在于，

所述第1脉冲光与所述第2脉冲光彼此波长不同，

所述分离元件是波长选择滤波器。

7.根据权利要求4所述的脉冲光生成装置，其特征在于，

所述第1脉冲光与所述第2脉冲光彼此偏振方向不同，

所述分离元件是偏振分束器。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的脉冲光生成装置，其特征在于，还包括：

第3激光光源，其射出第3脉冲光；

分波元件，其将所述第3脉冲光分波至第1光路和第2光路并传播；

第1调制元件，其配置在所述第1光路上，生成所述第1脉冲光；

第2调制元件，其配置在所述第2光路上，生成所述第2脉冲光；以及

合波元件，其使在所述第1光路上传播的所述第1脉冲光与在所述第2光路上传播的所述第2脉冲光合波后在第3光路上传播，

所述第1光纤及所述第2光纤配置在所述第3光路上，

在所述第1光纤与所述第2光纤之间配置有偏振分束器。

9.根据权利要求8所述的脉冲光生成装置，其特征在于，

在所述第2光路上配置有对第2脉冲光进行放大的第3光纤。

10.根据权利要求8所述的脉冲光生成装置，其特征在于，

在所述第1光路上配置有部分反射元件。

11.根据权利要求1至3中任一项所述的脉冲光生成装置，其特征在于，

还具有波长转换部，该波长转换部供从所述第2光纤射出的所述第1脉冲光入射并传播，对所述第1脉冲光的波长进行转换。

12.根据权利要求11所述的脉冲光生成装置，其特征在于，

所述波长转换部包含多个非线性光学结晶，将所述第1脉冲光的波长转换为紫外区域的波长。