[发明专利]用于基于扼流的质量流验证的方法、系统和设备

权利要求书

1.一种质量流验证系统，包含：

入口；

第一压力传感器与温度传感器，所述第一压力传感器与所述温度传感器中的每一个耦接于所述入口的下游；

多个隔离阀，耦接于所述入口的下游；

多个不同尺寸的流量限制器，并联耦接于所述入口的下游，所述多个不同尺寸的流量限制器中的每一个与所述入口以及所述多个隔离阀中的各自一个串联耦接；

出口，串联耦接于所述多个不同尺寸的流量限制器中的每一个的下游；和

控制器，耦接至所述第一压力传感器、所述温度传感器和所述多个隔离阀，其中所述控制器经配置以响应于由所述温度传感器在扼流条件下测量的温度与由所述第一压力传感器在所述扼流条件下测量的第一压力，而确定质量流速率。

2.如权利要求1所述的质量流验证系统，其中所述控制器经配置以：

通过关闭所述多个隔离阀中的一些，造成气体仅流经所述多个不同尺寸的流量限制器中的一个；

响应于所述气体流经所述多个不同尺寸的流量限制器中的所述一个，经由所述第一压力传感器测量压力，以取得所测量的压力值；

响应于所述气体流经所述多个不同尺寸的流量限制器中的所述一个，经由所述温度传感器测量温度，以取得所测量的温度值；

通过将预定流量限制器系数、预定气体校正因子和预定温度值施加至所述所测量的压力值与所述所测量的温度值，而确定质量流速率。

3.如权利要求2所述的质量流验证系统，其中所述控制器经配置以通过将所述所测量的压力值乘以下列各个以确定所述质量流速率：

所述预定流量限制器系数；

所述预定气体校正因子；和

所述预定温度值与所述所测量的温度值的比率。

4.如权利要求1所述的质量流验证系统，其中所述多个不同尺寸的流量限制器中的每一个耦接于所述多个隔离阀中的所述各自一个的上游。

5.如权利要求1所述的质量流验证系统，其中所述多个不同尺寸的流量限制器中的每一个耦接于所述多个隔离阀中的所述各自一个的下游。

6.如权利要求5所述的质量流验证系统，其中所述第一压力传感器与所述温度传感器中的每一个耦接于所述多个不同尺寸的流量限制器中的每一个与所述多个隔离阀中的所述各自一个之间。

7.如权利要求6所述的质量流验证系统，其中：

所述多个隔离阀包含子群组的多个隔离阀；和

所述子群组的多个隔离阀中的每一个具有耦接至所述第一压力传感器与所述温度传感器的第一端口，并具有耦接于所述多个不同尺寸的流量限制器中的各自一个与所述多个隔离阀中的所述各自一个之间的第二端口。

8.如权利要求1所述的质量流验证系统，进一步包含：

槽，串联耦接于所述多个不同尺寸的流量限制器中的每一个的下游；和

真空泵，耦接于所述槽的下游，且串联耦接于所述槽与输入端口之间，所述真空泵具有排出端口。

9.如权利要求1所述的质量流验证系统，进一步包含真空泵，耦接至所述出口，所述真空泵具有排出端口。

10.一种电子装置制造系统，包含：

质量流控制器；

质量流验证系统，具有入口与出口，所述入口耦接至所述质量流控制器，所述质量流验证系统包含：

多个隔离阀，耦接于所述入口的下游；和

多个不同尺寸的流量限制器，并联耦接于所述入口的下游，所述多个不同尺寸的流量限制器中的每一个与所述入口、所述多个隔离阀中的各自一个及所述出口串联耦接；

控制器，耦接至所述多个隔离阀，并经配置以仅通过所述多个隔离阀中的一个在扼流条件下接收所述多个不同尺寸的流量限制器的上游的压力测量与温度测量，所述控制器也经配置以响应于接收所述压力测量与所述温度测量，以确定质量流速率；和

处理腔室，耦接至与所述质量流控制器耦接的流动路径，并经配置成经由所述质量流控制器接收一或多个处理化学品。