[发明专利]电渣重熔的方法及熔化容器有效
申请号: | 201780032608.4 | 申请日: | 2017-05-23 |
公开(公告)号: | CN109789476B | 公开(公告)日: | 2021-10-12 |
发明(设计)人: | 亨利克·法兰兹;乌里奇·布里希;哈拉德·史可兹 | 申请(专利权)人: | ALD真空技术有限公司 |
主分类号: | B22D2/00 | 分类号: | B22D2/00;B22D11/18;B22D23/10;C22B9/18;B22D11/20;G01K13/02 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电渣重熔 方法 熔化 容器 | ||
1.一种多个金属或多个金属合金的电渣重熔的方法,所述电渣重熔的方法施行在一熔化容器中,所述熔化容器具有至少一个内壁及以所述内壁为界的熔化腔室,使得在所述内壁及所述熔化腔室之间存在一边界面;
其中所述熔化容器具有一外壁及安排在所述外壁及所述内壁之间的冷媒通道;
其中所述熔化容器具有多个测量装置,用以测量温度,且所述测量装置安排在至少两个测量组中;
其中在一测量组内的所述测量装置中的每一个具有与在所述内壁及所述熔化腔室之间的所述边界面实质上相同的距离;以及
相异的测量组的所述测量装置与在所述内壁及所述熔化腔室之间的所述边界面的所述距离为相异的;以及
在相同的所述测量组内的所述测量装置安排在相异的多个高度,
其中与其他测量组相比,具有与所述内壁/熔化腔室的边界面的最小距离的测量组安排在所述内壁及所述冷媒通道的中间,
包括以下步骤:
A.提供将被熔化的所述金属或所述金属合金的至少一个电极至所述熔化容器中;
B.提供熔渣至所述熔化容器中;
C.熔化所述电极,使得被熔化的所述金属或所述金属合金通过一熔渣区域,且固化成一锭;
其特征在于:
藉由经由所述测量装置获得的信息连续地建立一热平衡。
2.如权利要求1所述的电渣重熔的方法,其中在熔化期间,从所述熔化容器抽出所述锭及/或所述熔化容器在相对于增长的所述锭的相对运动而升起。
3.如权利要求2所述的电渣重熔的方法,其中抽出速度或升起速度为至少0.01cm/min至最多1.0cm/min。
4.如权利要求3所述的电渣重熔的方法,其中抽出速度或升起速度与所述熔化容器的内径的乘积为至少1000mm2/min至最多5000mm2/min。
5.如权利要求1所述的电渣重熔的方法,其中所述熔渣区域的确定的位置与一标靶位置相比,且在所述熔渣区域的该位置从所述标靶位置发生偏差的情况下,将影响所述熔渣区域的该位置。
6.如权利要求5所述的电渣重熔的方法,其中在所述熔渣区域的该位置发生向下偏差的情况下,导致熔化速率增加及/或所述锭从所述熔化容器的抽出或所述熔化容器的升起减速。
7.如权利要求5所述的电渣重熔的方法,其中在所述熔渣区域的该位置发生向上偏差的情况下,导致熔化速率减少及/或所述锭从所述熔化容器抽出或所述熔化容器的升起加速。
8.如权利要求1所述的电渣重熔的方法,其中熔渣高度与标靶高度相比,且在所述熔渣区域的该高度向下偏差的情况下,重新配给熔渣材料。
9.如权利要求1所述的电渣重熔的方法,其中在熔化期间,所述熔渣区域在所述熔化容器内的位置经由所述测量装置而决定。
10.如权利要求9所述的电渣重熔的方法,其中根据所述热平衡校正所述电极进入所述熔渣区域的浸入深度及/或熔渣的配给量。
11.如权利要求1所述的电渣重熔的方法,其中锭/金属槽及金属槽/熔渣的边界面的垂直距离最多为所生成的所述锭的剖面直径的两倍。
12.如权利要求1所述的电渣重熔的方法,其中熔化速率不超过2.5kg/h与所生成的所述锭的以毫米计算的该剖面直径的乘积。
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