[发明专利]具有区分开的P型和N型区架构的太阳能电池的金属化

说明书

本发明描述了制造具有区分开的P型和N型区架构的太阳能电池发射极区的方法以及所得的太阳能电池。在一个实例中，背接触太阳能电池可以包括具有光接收表面和背表面的基板。第一导电类型的第一多晶硅发射极区设置在第一薄介电层上，该第一薄介电层设置在所述基板的背表面上。第二不同导电类型的第二多晶硅发射极区设置在第二薄介电层上，第二薄介电层设置在基板的背表面上。第三薄介电层设置在第一多晶硅发射极区的暴露的外部部分上，并且直接侧向设置在第一多晶硅发射极区和第二多晶硅发射极区之间。第一导电触点结构设置在第一多晶硅发射极区上。第二导电触点结构设置在第二多晶硅发射极区上。本发明还描述了金属化方法，其包括用于形成第一导电触点结构和第二导电触点结构的蚀刻技术。

背景技术

光伏(PV)电池(常被称为太阳能电池)是用于将太阳辐射转化为电能的装置。一般来讲，照射在太阳能电池基板表面上并进入基板内的太阳辐射在基板主体中形成电子和空穴对。电子和空穴对迁移至基板中的p型掺杂区和n型掺杂区，从而在掺杂区之间形成电压差。将掺杂区连接到太阳能电池上的导电区，以将电流从电池引导至外部电路。当将PV电池组合在诸如PV模块的阵列中时，从所有的PV电池收集的电能可以按串联和并联布置加以组合，以提供具有某一电压和电流的电源。

效率是太阳能电池的重要特性，因其直接与太阳能电池发电能力有关。同样，制备太阳能电池的效率直接与此类太阳能电池的成本效益有关。因此，提高太阳能电池效率的技术或提高制造太阳能电池效率的技术是普遍需要的。本公开的一些实施方案允许通过提供制造太阳能电池结构的新工艺而提高太阳能电池的制造效率。本公开的一些实施方案允许通过提供新型太阳能电池结构来提高太阳能电池效率。

附图说明

图1示出了根据本公开的一些实施方案的背接触太阳能电池的一部分的剖视图。

图2为根据本公开的一些实施方案的流程图，该流程图列出对应于图5-16的太阳能电池的制造方法中的操作。

图3为根据本公开的一些实施方案的流程图，该流程图列出对应于图11-13的太阳能电池的图案化工艺中的操作。

图4为根据本公开的一些实施方案的流程图，该流程图列出对应于图14-16的太阳能电池的另一种图案化工艺中的操作。

图5-10示出了根据本公开的一些实施方案太阳能电池的制造中各个阶段的剖视图。

图11-13示出了根据本公开的一些实施方案的太阳能电池的图案化工艺的剖视图。

图14-16示出了根据本公开的一些实施方案的太阳能电池的另一种图案化工艺中各个阶段的剖视图。

具体实施方式

以下具体实施方式在本质上只是说明性的，而并非意图限制本申请的主题的实施方案或此类实施方案的用途。如本文所用，词语“示例性”意指“用作示例、实例或举例说明”。本文描述为示例性的任何实施方式未必理解为相比其它实施方式是优选的或有利的。此外，并不意图受前述技术领域、背景技术、发明内容或以下具体实施方式中提出的任何明示或暗示的理论的约束。

本说明书包括提及“一个实施方案”或“某个实施方案”。短语“在一个实施方案中”或“在某个实施方案中”的出现不一定是指同一实施方案。特定的特征、结构或特性可以任何与本公开一致的合适方式加以组合。

术语。以下段落提供存在于本公开(包括所附权利要求书)中术语的定义和/或语境：

“包括”。该术语是开放式的。如在所附权利要求书中所用，该术语并不排除其它结构或步骤。