[发明专利]基板距离监控

权利要求书

1.一种经配置以将处理气体导入等离子体处理腔室的面板，所述面板包括：

盘状主体，具有穿过所述主体而形成的多个第一孔；及

第一传感器组件，所述第一传感器组件设置于所述多个第一孔中的一个第一孔中，所述第一传感器组件具有在所述第一传感器组件中的第二孔，所述第二孔经配置以允许气体流动经过所述第二孔和所述第一传感器组件设置于其中的所述多个第一孔中的所述第一孔，所述第一传感器组件包括：

传感器，所述传感器经配置以提供指示在基板支撑件与所述第一传感器组件之间限定的距离的测度。

2.如权利要求1所述的面板，进一步包括：

至少第二传感器组件及第三传感器组件，穿过所述主体而设置于所述多个第一孔中的相应第一孔中，可操作所述第二传感器组件及所述第三传感器组件以提供指示基板放置于所述面板下方的距离的测度。

3.如权利要求2所述的面板，其中所述第一传感器组件、第二传感器组件和第三传感器组件中的至少一些设置于距所述主体的中央不同距离处。

4.如权利要求2所述的面板，其中所述第一传感器组件、所述第二传感器组件及所述第三传感器组件设置于所述主体的第一区域中，且其中所述主体的第二区域包含额外的传感器组件，可操作所述额外的传感器组件以提供指示基板放置于所述面板下方的距离的测度。

5.如权利要求1所述的面板，其中所述传感器在与所述主体的表面垂直的+/-3度内对准，所述表面经配置以面对基板支撑件。

6.如权利要求1所述的面板，其中所述传感器组件包括：

基于光纤的传感器、Fabry-传感器、或激光传感器中的至少一种。

7.一种用于即时工艺控制的设备，包括：

面板，包括：

盘状主体，具有穿过所述主体而形成的主体孔，所述面板经配置以将处理气体导入处理腔室中；及

第一传感器组件，包括：

传感器外壳，所述传感器外壳在所述主体孔中的第一主体孔中与所述主体接合，所述传感器外壳具有外壳孔，所述外壳孔经配置以允许流体流动经过所述外壳孔和具有所述传感器外壳与所述主体接合的所述第一主体孔；及

传感器，所述传感器设置于所述传感器外壳中，并且经配置以提供指示表面与所述第一传感器组件之间限定的距离的测度中。

8.如权利要求7所述的设备，其中所述传感器组件包括：

基于光纤的传感器、Fabry-传感器、或激光传感器中的至少一种。

9.如权利要求7所述的设备，其中所述传感器在与所述表面垂直的+/-3度内对准。

10.如权利要求7所述的设备，其中所述第一传感器组件与所述表面相距低于30mm。

11.如权利要求10所述的设备，其中所述第一传感器组件与所述表面相距低于5mm。

12.如权利要求7所述的设备，其中所述面板进一步包括至少第二传感器组件及第三传感器组件，且所述第一传感器组件、第二传感器组件及第三传感器组件中的至少一些设置于距所述面板的中央不同距离处。

13.如权利要求7所述的设备，其中可操作所述第一传感器组件以与控制系统无线通讯。