[发明专利]图案结构物的检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种图案结构物的检测装置，其特征在于，该装置包括：

波动源，其向包括图案区域的样本照射波动，所述图案区域上形成有位于基板上且具有一定图案的结构物；

信息收集部，其用于检测所述照射的波动经所述样本形成多重衍射而发生的散斑；

信息分析部，其接收由所述信息收集部收集的散斑信息并进行分析，并将其向显示器显示；以及

多重衍射增加部，其将经所述样本进行多重衍射而射出的所述波动的至少一部分向所述样本进行反射以增加所述样本中多重衍射的次数，

所述多重衍射增加部包括：

第一多重衍射增加部，其形成为半透过型多重衍射增加部，并布置在所述样本和所述波动源之间经过所述样本中心的延长线上，将从所述样本经多重衍射而射出的所述波动的至少一部分向所述样本进行反射；以及

第二多重衍射增加部，其形成为反射型多重衍射增加部，并以所述样本为基准，与所述第一多重衍射增加部相面对布置，将从所述样本经多重衍射而射出的所述波动的至少一部分向所述样本进行反射，

所述信息收集部在所述样本与所述信息收集部之间或者所述信息收集部内部的一区域中检测出激光散斑。

2.如权利要求1所述的图案结构物的检测装置，其特征在于，

所述信息收集部在相距所述样本的表面一定距离的第一区域中进行所述散斑的检测。

3.如权利要求2所述的图案结构物的检测装置，其特征在于，

所述第一区域布置在第一面和第二面之间，所述第一面包括与所述样本的表面相距第一距离的第一地点，所述第二面包括与所述样本的表面相距大于所述第一距离的第二距离的第二地点。

4.如权利要求1所述的图案结构物的检测装置，其特征在于，

还包括三维图像生成部，其当包括两个以上的所述信息收集部时，利用由多个所述信息收集部检测出的多个所述散斑，并生成三维散斑图像。