[发明专利]通过使用锥形光纤的超连续谱生成的广谱辐射在审
申请号: | 201780034762.5 | 申请日: | 2017-03-17 |
公开(公告)号: | CN109313403A | 公开(公告)日: | 2019-02-05 |
发明(设计)人: | 梁敬培;陈涛;R·J·哈弗林;I·M·P·阿尔茨;A·朱博尔;J·卡博尼 | 申请(专利权)人: | ASML控股股份有限公司 |
主分类号: | G03F9/00 | 分类号: | G03F9/00;G02F1/365 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 王茂华;吕世磊 |
地址: | 荷兰维*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 锥形光纤 输出辐射 增宽 光谱 辐射 检测器 测量装置 超连续谱 朝向测量 目标接收 输入处 重定向 广谱 配置 测量 输出 | ||
1.一种测量装置,包括:
锥形光纤,所述锥形光纤具有用于接收辐射的输入并且具有用于朝向测量目标提供在光谱上增宽的输出辐射的输出,所述锥形光纤被配置为在光谱上增宽在所述输入处接收的辐射;以及
检测器系统,被配置为从所述测量目标接收所述输出辐射的重定向部分。
2.根据权利要求1所述的装置,其中所述锥形光纤包括用于在其核心处接收辐射的非锥形区域和用于提供所述在光谱上增宽的输出辐射的锥形区域,其中所述锥形区域的截面尺寸小于所述非锥形区域的所述核心的截面尺寸。
3.根据权利要求2所述的装置,其中所述非锥形区域的核心截面尺寸和/或用于接收所述在光谱上增宽的输出辐射的所述锥形光纤的非锥形区域的核心截面尺寸高达约10μm。
4.根据权利要求2或3所述的装置,其中所述锥形区域的截面尺寸高达约2.5μm。
5.根据权利要求2至4中任一项所述的装置,其中所述锥形区域的长度在约10cm与约50cm之间。
6.根据权利要求2至5中任一项所述的装置,其中第一过渡区域被配置为联接所述非锥形区域和所述锥形区域,并且其中所述第一过渡区域的长度在约1cm与约5cm之间。
7.根据权利要求2至6中任一项所述的装置,其中第二过渡区域被配置为联接所述锥形区域和另外的非锥形区域,并且其中所述第二过渡区域的长度在约1cm与约5cm之间。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的装置,其中所述锥形光纤所具有的材料的折射率根据入射在所述锥形光纤上的辐射的强度而变化。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的装置,其中所述锥形光纤支持至少一种光学模式。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的装置,其中在所述锥形光纤的所述输入处的所接收的辐射由具有在可见光或近红外内的标称波长的激光器生成,并且所述输出辐射在可见光或近红外内。
11.根据权利要求10所述的装置,其中所述激光器是脉冲激光器。
12.根据权利要求10或11所述的装置,其中所述激光器是钛蓝宝石激光器、翠绿宝石激光器或基于镨的激光器。
13.根据权利要求10或11所述的装置,其中所述激光器是倍频铒激光器或可见光激光二极管或NIR激光二极管。
14.根据权利要求1至13中任一项所述的装置,其中在所述锥形光纤的所述输入处的所接收的辐射是来自两个或更多个激光器的辐射的组合。
15.根据权利要求14所述的装置,其中所述激光器中的两个或更多个激光器是选自以下各项的一个或多个激光器:钛蓝宝石激光器、翠绿宝石激光器、基于镨的激光器、倍频铒激光器、可见光激光二极管和/或近红外激光二极管。
16.根据权利要求10至15中任一项所述的装置,还包括控制系统,所述控制系统被配置为调节所述激光器的参数,使得所述输出辐射的光谱宽度在500nm与900nm之间的范围内。
17.根据权利要求16所述的装置,其中所述参数是平均功率、峰值功率、脉冲宽度、脉冲重复率或从上述各项中选择的任何组合。
18.根据权利要求1至17中任一项所述的装置,还包括在所述锥形光纤的输出处或下游的带通滤波器,以减小和/或控制所述输出辐射的光谱宽度。
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