[发明专利]具有转印图案的被转印物的制造方法有效
| 申请号： | 201780034912.2 | 申请日： | 2017-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN109311191B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 山下恒雄;阪本英司;英翔;新居沙弥;荒木孝之 | 申请（专利权）人： | 大金工业株式会社 |
| 主分类号： | B29C33/62 | 分类号： | B29C33/62;B29C59/02;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 庞东成;孟伟青 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 图案 被转印物 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种被转印物的制造方法，其特征在于，其包括下述工序：
工序(1)，将含有氟聚醚的组合物涂布至形成有脱模层的在表面具有凹凸图案的模具的所述脱模层，
工序(2)，将所述模具压抵至被转印物，转印所述凹凸图案，以及
工序(3)，将所述模具从所述被转印物脱模，得到具有转印图案的所述被转印物，
所述含有氟聚醚的组合物为仅含有氟聚醚或者仅含有氟聚醚和溶剂的组合物，
所述氟聚醚不具有能够水解的基团。
2.如权利要求1所述的制造方法，其中，所述被转印物包含紫外线固化性树脂。
3.如权利要求1或2所述的制造方法，其中，在工序(2)中，将所述模具压抵至所述被转印物并同时对所述被转印物照射紫外线。
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