[发明专利]CVD涂层切削工具在审
申请号: | 201780035143.8 | 申请日: | 2017-06-20 |
公开(公告)号: | CN109312473A | 公开(公告)日: | 2019-02-05 |
发明(设计)人: | 扬·恩奎斯特;埃里克·林达尔 | 申请(专利权)人: | 山特维克知识产权股份有限公司 |
主分类号: | C23C30/00 | 分类号: | C23C30/00;C23C16/02;C23C16/40 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 王潜;郭国清 |
地址: | 瑞典桑*** | 国省代码: | 瑞典;SE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 切削工具 化学气相沉积 公式定义 织构系数 基材 沉积 | ||
1.一种涂层切削工具,所述涂层切削工具包括基材和涂层,其中所述涂层包括至少一个通过化学气相沉积(CVD)沉积的厚度为1-20μm的α-Al2O3层,其中所述α-Al2O3层具有X射线衍射图,其中织构系数TC(h k l)是根据Harris公式定义的
其中所用的(h k l)反射是(1 0 4)、(1 1 0)、(1 1 3)、(0 2 4)、(1 1 6)、(2 1 4)、(30 0)和(0 0 12),
I(h k l)=所述(h k l)反射的测量强度,
l0(h k l)=根据ICDD的00-10-0173号PDF卡的标准强度,
n=8,
其特征在于1<TC(0 2 4)<4且3<TC(0 0 12)<6。
2.根据权利要求1所述的涂层切削工具,其中所述α-Al2O3层显示1<TC(0 2 4)<3且3.5<TC(0 0 12)<5.5。
3.根据权利要求1所述的涂层切削工具,其中所述α-Al2O3层显示1.5<TC(0 2 4)<2.5且4<TC(0 0 12)<5。
4.根据前述权利要求中的任一项所述的涂层切削工具,其中所述α-Al2O3层的第三强的TC(h k l)是TC(1 1 0)。
5.根据前述权利要求中的任一项所述的涂层切削工具,其中所述α-Al2O3层具有通过EBSD在所述α-Al2O3层的平行于所述涂层的外表面的一部分中测量的{0 0 1}极图,其中在与所述涂层的外表面的法线为0°≤β≤90°的倾斜角范围内,在取向差角大小为0.25°下,基于所述极图的数据的极点图示出在β≤15°倾斜角内的强度与在0°≤β≤90°内的强度的比≥40%,
并且其中所述α-Al2O3层具有通过EBSD在所述α-Al2O3层的平行于所述涂层的外表面的一部分中测量的{0 1 2}极图,其中在与所述涂层的外表面的法线为0°≤β≤90°的倾斜角范围内,在取向差角大小为0.25°下,基于所述极图的数据的极点图示出在β≤15°倾斜角内的强度与在0°≤β≤90°内的强度的比≥40%。
6.根据权利要求5所述的涂层切削工具,其中所述{0 0 1}极图和所述{0 1 2}极图来自所述α-Al2O3层的同一部分。
7.根据前述权利要求中的任一项所述的涂层切削工具,其中所述α-Al2O3层包含柱状晶粒。
8.根据前述权利要求中的任一项所述的涂层切削工具,其中所述α-Al2O3层包含柱状α-Al2O3层晶粒,并且其中沿着在所述α-Al2O3层中间部位的与所述基材的表面平行的线测量,所述柱状晶粒的平均宽度是0.5-2μm。
9.根据前述权利要求中的任一项所述的涂层切削工具,其中所述α-Al2O3层的平均厚度为2-10μm。
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