[发明专利]显示装置制造方法

说明书

本发明提供一种不进行有机树脂膜与玻璃基板的剥离而用简单的方法可进行弯曲的显示装置，显示装置制造方法包括：在支承玻璃(20)的第一主面上形成聚酰亚胺膜(12)的步骤；在聚酰亚胺膜(12)上形成包括透明电极层(14)和发光层(16)的显示元件的步骤；以及通过由保护膜(22)覆盖包括聚酰亚胺膜(12)的支承玻璃(20)的第一主面侧，并且对第二主面侧进行蚀刻，从而去除支承玻璃(20)的步骤。

技术领域

本发明涉及一种有机EL显示器等显示装置的制造方法，尤其是涉及一种薄型化至能弯曲的显示装置的制造方法。

背景技术

以往，使用液晶显示器或有机EL显示器等平板显示器的显示装置用于各种用途。特别地，近年来从设计性的观点来看，柔性显示器备受关注。当制造柔性显示器时多采用易对应于弯曲化的有机EL显示器。

现有的有机EL显示器利用盖玻璃等玻璃基板来密封有机EL元件等显示元件。通过玻璃基板来保持有机EL元件的气密性和水密性，防止因氧、水分引起的元件的劣化。但是，由于进一步薄型化和上述那样的弯曲化的要求，近年来开发了利用树脂基板的有机EL显示器。树脂基板与玻璃基板相比挠性高，即使弯曲也不容易损坏，通过无机膜与有机膜的层叠结构来密封显示元件，能够实现与玻璃基板同等程度的阻气性。

然而，形成为足够薄以致达到能够弯曲程度的树脂基板在制造工序中非常难以处理，其结果，可能成为良率恶化的原因。因此，以往，在支承玻璃上形成聚酰亚胺等有机树脂膜，以易于在制造工序中进行处理。在由支承玻璃确保基板整体的刚性的状态下在有机树脂膜上形成功能膜等显示元件，并且在进行密封处理之后从支承玻璃剥离有机树脂膜(例如，参照专利文献1)。从支承玻璃剥离有机树脂膜的操作是通过由激光装置去除预先在支承玻璃和有机树脂膜之间形成的剥离层来进行的。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016-004112

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在上述方法中存在因在剥离支承玻璃时的激光照射而对显示元件产生不利影响的可能。另外，需要导入受激准分子激光器等昂贵的制造装置，并且生产成本也很高。特别地，近年来在大型基板对多个显示装置进行倒角的状态下生产多个显示装置，但随着基板变大，激光的照射面积增大，因此生产效率降低，发生剥离不良的情况变得较多。

本发明的目的在于，提供一种无需进行有机树脂膜与玻璃基板的剥离，而以简易的方法可弯曲的显示装置。

用于解决课题的技术方案

本发明的显示装置制造方法包括：在玻璃基板的第一主面上形成有机树脂膜的步骤；在有机树脂薄膜上形成包括显示元件的层的步骤；以及通过由耐蚀刻性部件覆盖包括有机树脂膜的玻璃基板的第一主面侧，并且对第二主面侧进行蚀刻，从而去除玻璃基板的步骤。

在玻璃基板上形成有机树脂膜的工序中，例如，在现有所使用的支承玻璃上使用狭缝式涂布机等涂布装置，来涂布有机树脂膜。作为有机树脂膜，优选使用聚酰亚胺。在形成显示元件的工序中，在有机树脂膜上形成包括薄膜晶体管或有机EL的发光层等的功能层。在形成这样的显示元件之后，密封显示元件以使其不暴露于外部空气。在密封工序中，通过交替层叠无机膜与有机膜而成的树脂膜来进行密封处理。在密封处理之后，用具有耐蚀刻性的膜或抗蚀剂材料来覆盖树脂膜，并对玻璃基板进行蚀刻。在蚀刻处理中，通过从第2主面侧使蚀刻液与玻璃基板接触来进行薄型化处理，原则上，通过蚀刻至玻璃基板全部溶解，从而去除玻璃基板。但是，也有玻璃基板在溶解的过程中适当地剥落的情况，在这种情况下，不一定使玻璃基板全部溶解，也能够去除玻璃基板。