[发明专利]蒸镀掩膜、有机半导体元件的制造方法以及有机EL显示屏的制造方法

说明书

一种蒸镀掩膜，通过具有与所要蒸镀制作的图案对应的多个树脂掩膜开口部的树脂掩膜和具有金属掩膜开口部的金属掩膜以所述树脂掩膜开口部和所述金属掩膜开口部重合的方式层叠而成，在该蒸镀掩膜中，使俯视所述金属掩膜时的所述金属掩膜开口部的形状成为以多边形为基本形状，并且增加了使该多边形的整周的长度延长的延长部的形状。

技术领域

本公开的实施方式涉及蒸镀掩膜、有机半导体元件的制造方法以及有机EL显示屏。

背景技术

使用蒸镀掩膜的蒸镀图案的形成通常通过使设有与所要蒸镀制作的图案对应的开口部的蒸镀掩膜与蒸镀对象物紧密接触，并使从蒸镀源放出的蒸镀材料通过开口部而附着于蒸镀对象物来进行。

作为在上述蒸镀图案的形成中使用的蒸镀掩膜，例如，已知通过具有与所要蒸镀制作图案对应的树脂掩膜开口部的树脂掩膜与具有金属掩膜开口部(存在称之为狭缝的情况)的金属掩膜层叠而成的蒸镀掩膜(例如专利文献1)等。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：(日本)特许第5288072号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

本公开实施方式的主要可以在于，在树脂掩膜与金属掩膜层叠而成的蒸镀掩膜中，提供能够形成更加高精细的蒸镀图案的蒸镀掩膜，并且提供能够高精度地制造有机半导体元件的有机半导体元件的形成方法，进而提供有机EL显示屏的制造方法。

用于解决技术问题的技术方案

本公开一实施方式的蒸镀掩膜是通过具有与蒸镀制作图案对应的多个树脂掩膜开口部的树脂掩膜和具有金属掩膜开口部的金属掩膜以所述树脂掩膜开口部和所述金属掩膜开口部重合的方式层叠而成的蒸镀掩膜，使俯视所述金属掩膜时的所述金属掩膜开口部的形状成为以多边形为基本形状，并且增加了使该多边形的整周的长度延长的延长部的形状。

在本公开一实施方式的蒸镀掩膜中，所述金属掩膜可以在不与所述树脂掩膜的所述树脂掩膜开口部重合的位置具有使所述金属掩膜的刚性部分降低的一个或多个刚性调整部。

并且，在本公开一实施方式的蒸镀掩膜中，所述刚性调整部可以是贯通所述金属掩膜的贯通孔或设置于金属掩膜的凹部。

并且，在本公开另一实施方式的有机半导体元件的制造方法中，包含使用蒸镀掩膜在蒸镀对象物上形成蒸镀图案的蒸镀图案形成工序，在所述蒸镀图案形成工序中使用的所述蒸镀掩膜是上述本公开一实施方式的蒸镀掩膜。

并且，在本公开另一实施方式的有机EL显示屏的制造方法中，使用通过上述本公开一实施方式的有机半导体元件的制造方法制造的有机半导体元件。

发明的效果

根据本公开的蒸镀掩膜，能够形成高精细的蒸镀图案。并且，根据本公开的有机半导体元件的制造方法，能够高精度地制造有机半导体元件。并且，根据本公开的有机EL显示屏的制造方法，能够高精度地制造有机EL显示屏。

附图说明

图1(a)是表示本公开实施方式的蒸镀掩膜的一个例子的概略剖视图，

图1(b)是表示从金属掩膜侧俯视本公开实施方式的蒸镀掩膜时的一个例子的主视图。

图2是表示从金属掩膜侧俯视本公开实施方式的蒸镀掩膜时的金属掩膜开口部的形状的一个例子的主视图。

图3是表示从金属掩膜侧俯视本公开实施方式的蒸镀掩膜时的金属掩膜开口部的形状的一个例子的主视图。

图4是表示从金属掩膜侧俯视本公开实施方式的蒸镀掩膜时的金属掩膜开口部的形状的一个例子的主视图。