[发明专利]用于离子源的汽化器

权利要求书

1.一种汽化器，其特征在于，包括：

坩埚，在所述坩埚中能够设置掺杂剂材料，所述坩埚具有穿过所述坩埚的侧壁的开孔；

外壳体，环绕所述坩埚；

蒸汽通道，设置在所述外壳体与所述坩埚之间，其中所述开孔与所述蒸汽通道连通；

气体喷嘴，附装到所述外壳体的一端且与所述蒸汽通道连通；以及

衬垫，所述衬垫设置在所述坩埚与所述外壳体之间以将所述坩埚与所述外壳体隔开。

2.根据权利要求1所述的汽化器，其特征在于，包括嵌置在所述外壳体中的热源。

3.根据权利要求1所述的汽化器，其特征在于，所述开孔设置在使得所述坩埚中的液体无法到达所述开孔的位置处。

4.根据权利要求1所述的汽化器，其特征在于，蒸汽在从所述坩埚穿过所述开孔而进入所述蒸汽通道并到达所述气体喷嘴的路径中行进，且其中随着所述蒸汽沿着从所述开孔到所述气体喷嘴的所述路径流动，温度升高。

5.根据权利要求1所述的汽化器，其特征在于，所述衬垫设置在所述气体喷嘴与所述开孔之间，且所述衬垫包括使蒸汽能够通过的开口。

6.根据权利要求1所述的汽化器，其特征在于，所述坩埚与所述外壳体热隔绝。

7.根据权利要求6所述的汽化器，其特征在于，在所述坩埚中形成的蒸汽是在位于所述坩埚的外表面与所述外壳体的内表面之间的所述蒸汽通道中行进。

8.根据权利要求7所述的汽化器，其特征在于，所述蒸汽通过所述开孔进入所述蒸汽通道中。

9.根据权利要求8所述的汽化器，其特征在于，所述开孔设置在高度等于或大于所述掺杂剂材料的高度的位置处。

10.一种汽化器，其特征在于，包括：

坩埚，在所述坩埚中能够设置掺杂剂材料，所述坩埚是圆柱形的，在两端密封且具有穿过所述坩埚的侧壁的开孔；

外壳体，环绕所述坩埚，其中所述外壳体的本体是圆柱形的；

蒸汽通道，设置在所述坩埚与所述外壳体之间，其中所述开孔与所述蒸汽通道连通；

其中所述外壳体包括第一端及与所述第一端相对的第二端，气体喷嘴附装到所述外壳体的所述第一端且与所述蒸汽通道连通；以及

衬垫，所述衬垫设置在所述坩埚与所述外壳体之间以将所述坩埚与所述外壳体隔开。

11.根据权利要求10所述的汽化器，其特征在于，所述汽化器在离子源中被取向成使得所述第一端低于所述第二端，且其中所述开孔设置在所述第二端附近。

12.根据权利要求10所述的汽化器，其特征在于，所述汽化器在离子源中被取向成使得所述第一端高于所述第二端，且其中所述开孔设置在所述第一端附近。

13.根据权利要求12所述的汽化器，其特征在于，所述衬垫设置在所述气体喷嘴与所述开孔之间，且所述衬垫包括使蒸汽能够通过的开口。