[发明专利]非接触支撑平台和用于生产其流体垫层的工作台

权利要求书

1.一种非接触支撑平台，其包括：

多个压力端口，所述压力端口分布在工作台表面上，每个压力端口被配置为连接至压力源以使流体通过所述压力端口向外流动；

多个真空端口，所述多个真空端口分布在所述工作台表面上，每个真空端口被配置为连接至真空源以使流体通过所述真空端口向内流动，通过所述压力端口的所述向外流动和通过所述真空端口的所述向内流动被配置为形成流体垫层以在距所述工作台的非零距离处支撑工件；

其特征在于，所述非接触支撑平台还包括多个通道，每个通道连接所述真空端口中的至少两个以使流体能够经由所述通道在连接的真空端口之间流动，使得当所述连接的真空端口中的一个被所述工件的边缘覆盖且另一个连接的真空端口未被所述工件覆盖时，通过所述连接的真空端口施加在所述边缘上的吸力弱于通过所述连接的真空端口施加在其中两个所述连接的真空端口都被覆盖的所述工件的一部分上的吸力。

2.根据权利要求1所述的非接触支撑平台，其中所述多个通道被定向为非垂直于所述工件沿着所述非接触支撑平台的传输的方向。

3.根据权利要求1所述的非接触支撑平台，其中所述多个通道被定向在与所述工作台的一侧成斜角处。

4.根据权利要求1所述的非接触支撑平台，其中所述工作台是矩形的并且所述多个通道被定向在与所述工作台的一侧成45°角处。

5.根据权利要求1所述的非接触支撑平台，其中所述多个通道中的通道包括收缩部。

6.根据权利要求5所述的非接触支撑平台，其中所述收缩部是楔形的、矩形的或迷宫式的。

7.根据权利要求6所述的非接触支撑平台，其中所述收缩部包括自适应分段孔口迷宫。

8.根据权利要求1所述的非接触支撑平台，其中至少三个共线真空端口通过至少两个通道彼此连接。

9.根据权利要求1所述的非接触支撑平台，其中所述多个通道被并入至被配置用于组装至所述工作台的层中。

10.根据权利要求1所述的非接触支撑平台，其中所述流体包括空气。

11.一种用于生产非接触支撑平台的流体垫层的工作台，所述工作台包括：

工作台顶部，在所述工作台顶部上分布有多个压力端口，它们是每个压力端口被配置为连接至压力源以使流体通过所述压力端口向外流动；

多个真空端口，多个真空端口散布在所述工作台顶部上的所述压力端口之间，每个真空端口被配置为连接至真空源以使流体通过所述真空端口向内流动，通过所述压力端口的所述向外流动和通过所述真空端口的所述向内流动被配置为形成流体垫层以在距所述工作台的非零距离处支撑工件；

其特征在于，所述工作台还包括多个通道，每个通道连接所述真空端口中的至少两个以使流体能够经由所述通道在连接的真空端口之间流动，使得当所述连接的真空端口中的一个被所述工件的边缘覆盖且另一个连接的真空端口未被所述工件覆盖时，通过所述连接的真空端口施加在所述边缘上的吸力弱于通过所述连接的真空端口施加在其中两个所述连接的真空端口都被覆盖的所述工件的一部分上的吸力。

12.根据权利要求11所述的工作台，其中所述多个通道被定向为非垂直于所述工件沿着所述非接触支撑平台的传输的方向。

13.根据权利要求11所述的工作台，其中所述多个通道被定向在与所述工作台顶部的边缘成斜角处。

14.根据权利要求11所述的工作台，其中所述工作台顶部是矩形的并且所述多个通道被定向在与所述工作台顶部的边缘成45°角处。

15.根据权利要求11所述的工作台，其中所述多个通道中的通道包括收缩部。