[发明专利]光致抗蚀剂图案缩小组合物与图案缩小方法

权利要求书

1.一种光致抗蚀剂图案缩小用组合物，由20至80重量％的可缩小光致抗蚀剂图案的物质、20至80重量％的溶剂、0至2重量％的表面活性剂组成，其特征在于，

表面活性剂从由聚氧乙烯烷基苯基醚类、聚氧乙烯壬基苯醚类、聚氧乙烯辛基苯醚类选择的一种或者两种以上的混合物构成的群组中选择，

可缩小光致抗蚀剂图案的物质是从由作为碳数在1至10的酮类溶剂的乙酰基卡必醇、作为碳数在1至10的醚类溶剂的三乙二醇乙醚、作为碳数在1至10的酯类溶剂的二乙二醇单丁醚醋酸酯及作为碳数在1至10的烃类溶剂的癸烷构成的群组中选择的一种或者两种以上的混合物构成的群组中选择，

溶剂是从由1-戊醇、2-戊醇、1-庚醇、1-辛醇、2-己醇、2-庚醇、2-辛醇、3-己醇、3-辛醇、4-辛醇、1-丁醇、2-丁醇、3-甲基-1-丁醇、叔丁醇、醋酸丁酯、乙酸戊酯、乙基-3-乙氧基丙酸酯、3-甲氧基乙酸丁酯、3-甲基-3-甲氧基乙酸丁酯、甲酸丁酯、甲酸丙酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯选择的一种或者两种以上的混合物构成的群组中选择。

2.一种缩小光致抗蚀剂图案的方法，其特征在于，在形成光致抗蚀剂图案的显影工艺之后，以连续的工艺在图案化的晶片执行：1)喷射权利要求1所述的光致抗蚀剂图案缩小用组合物、2)静置预定时间、3)以旋转干燥的方式进行干燥的过程来缩小图案，所述静置时间是20至120秒。