[发明专利]光学锁定器

权利要求书

1.一种用于光学锁定器的干涉测量组件，所述干涉测量组件包括输入组件、干涉仪和检测器组件，其中：

所述输入组件被配置成接收测试光束，将所述测试光束分成多个物理上不重合的输入光束，并将所述输入光束引导到所述干涉仪；

所述干涉仪被配置成接收每个输入光束并且为每个输入光束产生具有取决于所述输入光束的波长的强度的输出光束；

所述检测器组件被配置成产生多个输出信号，每个输出信号取决于相应输出光束的强度；

所述输入组件被配置为引导所述输入光束，使得每个输入光束以不同的角度进入所述干涉仪，并且因此以不同的路径差行进通过所述干涉仪，并且使得所述输出光束物理上分开地到达所述检测器组件；

其中所述输入组件被配置为使得所述输出信号中的至少一者具有随波长的变化率，所述变化率大于指定的非零值；以及其中输入光束被所述干涉仪分成具有路径的非重叠部分的中间光束，而所述路径中的至少一者中的所述非重叠部分的至少一者穿过两种不同的材料。

2.根据权利要求1所述的干涉测量组件，其中所述输入光束在进入所述干涉仪时水平或垂直分开。

3.根据权利要求1所述的干涉测量组件，包括一个或多个抛物面镜，被配置成将所述输出光束聚焦到所述检测器组件上。

4.根据权利要求1所述的干涉测量组件，其中每个波长的优选输出信号是在所述波长处具有最大随波长的变化率的输出信号，并且其中所述输入组件被配置成引导输入光束，以在所述优选输出信号的变化率具有最小值的波长处最大化所述优选输出信号的随波长的变化率。

5.根据权利要求1所述的干涉测量组件，其中所述干涉仪是Mach-Zehnder或Michelson-Morley干涉仪，并且所述输入组件被配置为产生两个输入光束，使得由第一输入光束产生的输出光束的强度和波长之间的关系与由第二输入光束产生的输出光束的强度和波长之间的关系具有π/2的相位差。

6.一种测量测试光束的波长的方法，所述方法包括：

将所述测试光束提供给根据权利要求1所述的干涉测量组件；

基于选择的输出信号确定所述测试光束的所述波长，所述选择的输出信号是所述多个输出信号中在测量的强度下具有最大随波长的变化率的输出信号。