[发明专利]用于检测气体的集成感测装置

权利要求书

1.一种电化学气体感测元件，其包括：

封装主体，其含有部分围封空腔；

所述空腔内含的电解质；

所述部分围封空腔内部上的多个电极，所述电极接触所述电解质；

所述封装主体中的气体开口，其用于允许气体接触所述电极中的至少一者；

电互连件，其从所述电极导向所述空腔外部；及

所述封装主体的外表面上的多个电接点，其用于接收电力且用于输出与检测到的气体有关的信息，

其中所述封装、电解质及电极由承受大于180℃的处理温度的材料形成。

2.根据权利要求1所述的气体感测元件，其中所述封装主体包括陶瓷材料。

3.根据权利要求1所述的气体感测元件，其中所述电解质在高达260℃的处理温度下在物理上及化学上是稳定的。

4.根据权利要求1所述的气体感测元件，其中所述电解质包括两性离子材料。

5.根据权利要求1所述的气体感测元件，其中所述电解质包括灌注有酸的聚合物。

6.根据权利要求1所述的气体感测元件，其中所述电解质在高达260℃的处理温度下在物理上及化学上是稳定的。

7.根据权利要求1所述的气体感测元件，其中所述电互连件沿着所述封装主体的外部形成。

8.根据权利要求1所述的气体感测元件，其中所述电互连件的一部分经屏蔽而免遭电磁干扰。

9.根据权利要求1所述的气体感测元件，其进一步包括：

传感器电路，其经附装到所述封装主体，所述传感器电路检测通过至少一第一电极的对应于撞击于所述第一电极上的气体浓度的电流，所述传感器电路经配置以处理所述电流且将数字数据输出到所述多个电接点。

10.根据权利要求9所述的气体感测元件，其中所述传感器电路包含模/数转换器及处理器，所述处理器用于生成与由所述气体感测元件检测到的气体有关的所述数字数据。

11.根据权利要求10所述的气体感测元件，其中所述传感器电路包括专用集成电路ASIC。

12.根据权利要求9所述的气体感测元件，其中所述传感器电路进一步包括检测所述气体感测元件的温度的温度传感器。

13.根据权利要求9所述的气体感测元件，其中所述传感器电路进一步包括湿度传感器。

14.根据权利要求9所述的气体感测元件，其中所述传感器电路进一步包括气压传感器。

15.根据权利要求1所述的气体感测元件，其中所述电接点包括经配置以回流以电接触衬底上的焊接垫的焊料球。

16.根据权利要求1所述的气体感测元件，其中所述气体感测元件具有小于5mm×5mm的占用面积。

17.一种使用隔开的电化学气体传感器网络感测气体的方法，其包括：

校准第一气体传感器；

在检测目标气体时移动接近所述第一传感器的一或多个其它传感器；

比较来自所述第一传感器的输出数据与所述一或多个其它传感器的输出数据；及

基于所述第一传感器的所述输出数据校准所述一或多个其它传感器。

18.根据权利要求17所述的方法，其中所述校准所述第一气体传感器的步骤包括：依据由所述第一传感器检测到的一或多种气体的浓度校准由所述第一气体传感器生成的一或多个电化学电流的量值。