[发明专利]湿式处理系统及其操作方法

权利要求书

1.一种电化学沉积系统，其特征在于，包含：

两个以上电化学沉积模块，在一共同平台上加以配置且系配置成用于在一基板上沉积一种以上金属，每一电化学沉积模块包含：

一阳极隔间，配置成容纳阳极电解液流体的容积；

一阴极隔间，配置成容纳阴极电解液流体的容积；及

一装载端口，配置成接收一组挠性工件；

一装载器模块，配置成自该装载端口接收一挠性工件及将该挠性工件定位在一工件固持器内，且同时在该挠性工件的每一相反的平坦表面上使用一气垫固持该挠性工件；

该工件固持器，具有将第一和第二腿部构件分隔开的一头座构件，该工件固持器是配置成藉由一夹持机构在该第一和第二腿部构件之间固持该挠性工件的相对的边缘，该夹持机构将复数电接触件施加至该挠性工件的该等相反的平坦表面，其中当该挠性工件是由该工件固持器加以固持时，该等电接触件是由针对该挠性工件的一弹性密封件加以围绕，该工件固持器系配置成将该挠性工件的两面曝露于电镀溶液；

一传送机构，配置成藉由工件固持器将挠性工件从该装载器模块传送至一给定电化学沉积模块，及将一给定工件下降进入该给定电化学沉积模块；

一电气系统，配置成当该挠性工件是在该给定电化学沉积模块内加以固持时，将电流施加至该挠性工件的每一相反的平坦表面，使得每一相反的平坦表面以金属加以镀覆；

一卸除器模块，配置成从该工件固持器移除该挠性工件，及将该挠性工件传送至一卸除端口，该卸除端口是配置以接收该组挠性工件。

2.如权利要求1所述的电化学沉积系统，其特征在于，其中，该装载端口及该卸除端口是在该电化学沉积系统的不同位置加以配置。

3.如权利要求2所述的电化学沉积系统，其特征在于，其中，该传送机构是配置成自该卸除器模块将工件固持器返回至该装载器模块。

4.如权利要求2所述的电化学沉积系统，其特征在于，其中，该装载端口及该卸除端口是位在该电化学沉积系统的相反端。

5.如权利要求1所述的电化学沉积系统，其特征在于，其中，该电化学沉积系统包含一化学品管理系统，该化学品管理系统是耦接至该一个以上电化学沉积模块且配置成供应该一个以上电化学沉积模块的其中至少一者用于沉积该一种以上金属的一种以上金属成分。

6.如权利要求5所述的电化学沉积系统，其特征在于，其中，该化学品管理系统包含一螺旋输送机，用于将金属粉末输送至一金属分配系统。

7.如权利要求1所述的电化学沉积系统，其特征在于，更包含：

将该阳极隔间与该阴极隔间分隔开的一膜。

8.如权利要求1所述的电化学沉积系统，其特征在于，其中，每一电化学沉积模块包含一搅拌构件，该搅拌构件是配置成在该挠性工件的相反的表面搅拌电镀溶液。

9.如权利要求1所述的电化学沉积系统，其特征在于，其中当该挠性工件是在该给定电化学沉积模块内加以定位时，该挠性工件的每一相反的平坦表面面对一阳极，其中每一挠性工件定义待使用金属加以填充的贯穿孔。

10.如权利要求1所述的电化学沉积系统，其特征在于，其中，每一电化学沉积模块是配置成容纳小于三十公升的电镀溶液。

11.如权利要求1所述的电化学沉积系统，其特征在于，其中，该夹持机构包含复数弹性构件，该等弹性构件在该挠性工件的该等相反的平坦表面上赋予一夹持力。

12.如权利要求11所述的电化学沉积系统，其特征在于，其中，该电化学沉积系统包含一气动气囊，该气动气囊是配置成当充气时打开该夹持机构。

13.如权利要求1所述的电化学沉积系统，其特征在于，该共同平台包含小于16个电化学沉积模块，且配置成每小时电镀100个挠性工件。