[发明专利]湿式处理系统用工件固持器

权利要求书

1.一种工件固持器，其特征在于，包含：

一工件固持器框架，配置成藉由在一工件的相反侧上夹持该工件而固持该工件，该工件固持器框架具有一头座构件，该头座构件配置成被夹持且被传送进出能够在该工件的相反表面上处理该工件的一处理单元；

一第一挠曲腿部，自该头座构件的一第一端延伸，且配置成夹持该工件的一第一边缘，该第一挠曲腿部具有沿该第一挠曲腿部的长度附接的一第一对挠曲接触密封条，使得当使用时，该第一对挠曲接触密封条的内边缘可密封地接触该工件的该第一边缘的相反侧，且将该第一边缘夹持于其间；及

一第二挠曲腿部，自该头座构件的一第二端延伸，且配置成夹持该工件的一第二边缘，该第二挠曲腿部具有沿该第二挠曲腿部的长度附接的一第二对挠曲接触密封条，使得当使用时，该第二对挠曲接触密封条的内边缘可密封地接触该工件的该第二边缘的相反侧，且将该第二边缘夹持于其间；

其中所述第一挠曲接触密封条和第二挠曲接触密封条的每一个包含涂布弹性体的导电构件，该涂布弹性体的导电构件包含弹性密封珠，该弹性密封珠可密封地接触该工件的第一边缘及第二边缘的相反侧。

2.如权利要求1所述的工件固持器，其特征在于，其中，该头座构件包含一弹性构件，当该工件在该工件固持器中加以装载时，该弹性构件造成该第一及第二挠曲腿部将该工件伸张于其间。

3.如权利要求1所述的工件固持器，其特征在于，其中，该头座构件包含一可读识别组件，该可读识别组件唯一地标识该工件固持器。

4.如权利要求3所述的工件固持器，其特征在于，其中，该可读识别组件包含一射频（RF）标签。

5.如权利要求1所述的工件固持器，其特征在于，其中，该涂布弹性体的导电构件在该第一及第二对挠曲接触密封条的内边缘处具有一向内延伸挠性指部的组件，且其中，当该工件在该工件固持器中加以装载时，该向内延伸挠性指部的组件电接触该工件的该第一及第二边缘的相反侧。

6.如权利要求5所述的工件固持器，其特征在于，其中，当接触该工件时，该弹性密封珠可密封地围绕每一向内延伸挠性指部的组件。

7.如权利要求5所述的工件固持器，其特征在于，其中，该第一及第二挠曲腿部包含一导电构件，该导电构件电接触该第一及第二对挠曲接触密封条，而自该头座构件至在该第一及第二对挠曲接触密封条的内边缘处的该向内延伸挠性指部的组件产生电连续性，且其中，该第一及第二挠曲腿部的该导电构件使用一电绝缘材料加以涂布，使得和该第一及第二对挠曲接触密封条的该涂布弹性体的导电构件一起，该工件固持器的浸没部分与在该处理单元内的一流体介质电绝缘。

8.如权利要求1所述的工件固持器，其特征在于，其中，该第一及第二对挠曲接触密封条包含在该第一及第二对挠曲接触密封条的内表面之间的一空隙，使得一细长致动构件可在该工件的装载与卸除期间，沿该第一及第二挠曲腿部的长度插入在每对挠曲接触密封条之间的该空隙内。