[发明专利]在意外中断后恢复工件的线锯切过程的方法和设备

权利要求书

1.一种用于恢复中断的利用线锯将工件6锯切成多个晶片的过程的方法，所述方法包括：通过至少一个传感器8检测工件6中的已经发生线断裂的锯切间隙7的位置或者工件6中的位于受到线断裂影响的锯切间隙7的左右两侧的多个锯切间隙7的位置；修复或更换锯线3；形成由许多平行布置的线段组成的新的线网5，该线网5由至少两个线引导件4张紧，被流体润湿的线段被引入已经存在于工件6中的多个锯切间隙7中，其中，线网5在发生线断裂的锯切间隙7的区域中变宽，使得受到线断裂影响的锯切间隙7的左侧和右侧的限定区域或仅实际上受到线断裂影响的锯切间隙7被排除在新线段的重新穿线之外。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，通过至少一个偏转轮2b来执行线网5变宽。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，通过将锯线3相应地缠绕到张紧线网5的所述至少两个线引导件4上来执行线网5变宽。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的方法，其中，锯线是覆盖有固定的磨料的锯线。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，锯线是金刚石锯线。

6.根据权利要求4和5中任一项所述的方法，其中，锯线被水润湿。

7.一种用于利用锯线3将工件6锯切成多个晶片的设备，所述锯线3在线网5中由至少两个线引导件4张紧，所述线网5包括多个平行布置的线段，其中，线段由至少一个传感器8监测，使得在线断裂的情况下，能够确定断开的线段的精确或大概位置。

8.一种用于利用锯线3将工件6锯切成多个晶片的设备，所述锯线3在线网5中由至少两个线引导件4张紧，所述线网5包括平行布置的多个线段，其中，在线断裂之后新形成的线网5通过相应地绕张紧线网5的所述至少两个线引导件4缠绕来张紧或者通过位于发生线断裂的位置处或发生线断裂的区域中的至少一个偏转轮2b来张紧，使得当线段被重新穿入工件6的锯切间隙7中时，至少未将线段施加至发生线断裂的锯切间隙7。