[发明专利]用于测量转速和/或加速度的惯性传感器

权利要求书

1.用于测量转速和/或加速度的惯性传感器(1)，其中，所述惯性传感器(1)具有衬底，其中，所述衬底具有主延伸平面，其中，所述惯性传感器(1)具有至少两个能从静止位置中偏移出的质量(2、2')，其中，所述质量(2、2')与所述衬底机械耦合，其中，所述惯性传感器(1)具有用于探测所述质量(2、2')沿着第一方向的运动的至少一个探测器件，其特征在于，

-所述质量(2、2')通过至少一个第一耦合元件(8)、第二耦合元件(8')和第三耦合元件(8”)相互机械耦合，

-其中，所述第一耦合元件(8)具有第一主延伸方向，其中，所述第二耦合元件(8')具有第二主延伸方向，其中，所述第三耦合元件(8”)具有第三主延伸方向，

-其中，所述第一主延伸方向、所述第二主延伸方向和所述第三主延伸方向在所述静止位置中平行于所述主延伸平面地布置，

-其中，所述第一耦合元件(8)、所述第二耦合元件(8')和所述第三耦合元件(8”)刚性地构造，

-其中，所述第一耦合元件(8)在一端部上与一质量(2)连接，并且在另一端部上与所述第二耦合元件(8')的一端部连接，其中，所述第二耦合元件(8')在与设置用于与所述第一耦合元件(8)连接的端部相对置的另一端部上与所述第三耦合元件(8”)的一端部连接，其中，所述第三耦合元件(8”)在其另一端部上与另外的质量(2')连接，

-其中，所述第一耦合元件(8)、所述第二耦合元件(8')和所述第三耦合元件(8”)布置成使得在所述质量(2、2')从所述静止位置中偏移出时进行所述第一主延伸方向相对于所述第二主延伸方向的偏转和所述第二主延伸方向相对于所述第三主延伸方向的偏转，

-其中，所述第一耦合元件(8)、所述第二耦合元件(8')和所述第三耦合元件(8”)经由至少一个衬底附接部位(3)与所述衬底机械耦合。

2.根据权利要求1所述的惯性传感器(1)，其特征在于，所述第一耦合元件(8)、所述第二耦合元件(8')和所述第三耦合元件(8”)布置成使得在所述质量(2、2')从所述静止位置中偏移出时，所述第一主延伸方向保持平行于所述第三主延伸方向地布置。

3.根据权利要求1或2所述的惯性传感器(1)，其特征在于，所述惯性传感器(1)包括第四耦合元件(8”')，其中，所述第四耦合元件(8”')具有第四主延伸方向，其中，所述第一耦合元件(8)、所述第二耦合元件(8')、所述第三耦合元件(8”)和所述第四耦合元件(8”')布置成使得在所述质量(2、2')从所述静止位置中偏移出时进行所述第三主延伸方向相对于所述第四主延伸方向的偏转，其中，所述第一主延伸方向保持平行于所述第三主延伸方向地布置，并且所述第二主延伸方向保持平行于所述第四主延伸方向地布置。

4.根据权利要求3所述的惯性传感器(1)，其特征在于，所述第一耦合元件(8)、所述第二耦合元件(8')、所述第三耦合元件(8”)和所述第四耦合元件(8”')具有不同的长度。

5.根据权利要求3所述的惯性传感器(1)，其特征在于，所述第一耦合元件(8)、所述第二耦合元件(8')、所述第三耦合元件(8”)和所述第四耦合元件(8”')在它们的中部和/或在它们的端部上与所述第一耦合元件(8)、所述第二耦合元件(8')、所述第三耦合元件(8”)和所述第四耦合元件(8”')中的另一个耦合元件连接。

6.根据权利要求3所述的惯性传感器(1)，其特征在于，所述第一耦合元件(8)、所述第二耦合元件(8')、所述第三耦合元件(8”)和所述第四耦合元件(8”')梁形地设置。

7.根据权利要求3所述的惯性传感器(1)，其特征在于，所述第一耦合元件(8)、所述第二耦合元件(8')、所述第三耦合元件(8”)和所述第四耦合元件(8”')中的一个耦合元件沿着它的主延伸方向具有可变的横截面。

8.根据权利要求3所述的惯性传感器(1)，其特征在于，所述第一耦合元件(8)、所述第二耦合元件(8')、所述第三耦合元件(8”)和所述第四耦合元件(8”')经由正好一个衬底附接部位(3)与所述衬底机械耦合。